氦质谱检漏法
氦质谱检漏法是利用氦质谱检漏仪的氦分压力测量原理，真空检漏系统，实现被检件的氦泄漏量测量。当被检件密封面上存在漏孔时，示漏气体氦气及其它成分的气体均会从漏孔泄出，泄漏出来的气体进入氦质谱检漏仪后，由于氦质谱检漏仪的选择性识别能力，仅给出气体中的氦气分压力信号值。在获得氦气信号值的基础上，通过标准漏孔比对的方法就可以获得漏孔对氦泄漏量。
根据检漏过程中的示漏气体存贮位置与被检件的关系不同，可以将氦质谱检漏法分为真空法、正压法、真空压力法和背压法，下面分别总结了这四种氦质谱检漏法的检测原理、优缺点及检测的标准。
氦质谱检漏仪的主要配置
科仪产品主要有：薄膜制备设备，真空冶金设备，气密性检漏系统，检漏设备，真空系统等非标真空产品；系列分子泵，离子泵，钛升华泵，深冷捕集泵等高真空获得设备；系列干式涡旋泵，干式爪泵，干式螺杆泵等无油真空获得设备；超高真空环境模拟设备等高新技术产品。今天科仪的小编就和大家分享一下氦质谱检漏仪的主要配置有哪些，希望对您有所帮助！
1. 检漏仪分子泵
2. 机械泵或者干泵
3. 定制检漏仪电磁阀
4. 内置标准漏口
5. 放大器
6. 采用质谱模块
以上是科仪为您一起分享的内容，科仪生产氦检漏，欢迎新老客户莅临。
氦质谱检漏仪
今天和大家分享的是氦质谱检漏仪的相关知识，希望对您有所帮助！
氦质谱检漏方法在真空检漏技术领域里已经得到广泛的应用，这种方法的优点是:检漏灵敏度高，可以检漏到10-11Pam3/s 数量级，仪器响应快，氦分子在仪器高真空的环境中扩散的速度很高;所以氦质谱检漏仪在许多领域里得到广泛的应用，例如，在航空航天领域里宇宙飞船、航天飞机、火箭、飞机等这些都要用到真空检漏技术。在一般工业领域里原子能、发电厂、配电站、合成氨的氮肥生产厂、汽车制造业、造船工业、制冷工业、冶金工业、输气管道、气罐、油罐、锅炉快餐食品包装等都离不开检漏问题，同样在导1弹武1器装备中也离不开检漏，导1弹弹体、燃料储备罐、燃料运输管道、、特殊部件的密封性都要用到氦质谱检漏，空调检漏系统，本文主要真对氦质谱检漏原理及方法进行综述。
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