氦质谱检漏仪的检漏方式

氦质谱检漏仪的检漏方式通常有两种，一种为常规检漏，六氟化硫充气柜真空箱检漏系统，另一种为逆扩散检漏。逆扩散原理如图所示。逆扩散检漏是把被检件接在分子泵出气口一端，漏入的氦气由分子泵出气口逆着泵的排气方向进入安装在泵的进气口端的质谱管内而被检测。这一检漏方式是基于分子泵对不同质量的气体具有不同压缩比（气体在分子泵出气口压强与进气口压强之比）即利用不同气体的逆扩散程度不同程度而设计的。

氦质谱检漏仪

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氦质谱检漏技术是真空检漏领域里不可缺少的一种技术，由于检漏，简便易操作，仪器反应灵敏，精度高，不易受其他气体的干扰，在电阻炉检漏中得到了广泛应用。氦质谱检漏仪是根据质谱学原理，用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器。由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。

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氦质谱检漏仪对示漏气体的要求及选择

今天科仪的小编就和大家来分享一下氦质谱检漏仪对示漏气体有哪些要求，希望对您有所帮助！

(1)无害，不能对人体或环境造成伤害;

(2)质量轻，惰性气体，真空箱检漏系统，穿透能力强，六氟化硫空箱检漏系统，能穿透微小细缝;

(3)化学性质稳定，不会引起化学反应和易1燃易1爆;

(4)在空气环境中含量尽可能少且组分基本恒定的气体，满足检漏灵敏度方面的要求，减少本底干扰检测的准确性。

六氟化硫充气柜真空箱检漏系统-检漏系统-科仪创新真空有限公司由北京科仪创新真空技术有限公司提供。北京科仪创新真空技术有限公司位于北京市昌平区南口镇科仪创新真空技术。在市场经济的浪潮中拼博和发展，目前科仪创新真空在行业设备中享有良好的声誉。科仪创新真空取得全网商盟认证，标志着我们的服务和管理水平达到了一个新的高度。科仪创新真空全体员工愿与各界有识之士共同发展，共创美好未来。