广州潽拓光电科技有限公司——inficon英福康真空计保养拆解

定电流式灯丝的温度会随着真空压力的变化而变化，由于灯丝为高电阻温度系数材料，灯丝的温度的改变会导致灯丝电阻值发生变化，以电阻电桥的感测方式来测定电阻的改变就可以证明出真空压力的变化。

 参考感测头有着与感测头极为相似的构造，但其内部已抽至相当高的真空状态并加以密封，并尽可能接近于感测头感测压力的位置，有着环境温度补偿的作用。电桥的另一边按顺序有着一可变电阻R1和固定电阻R2。该电桥并联与一电源上，并在两个感应头间和两个电阻间接驳一个平衡电流表G。

真空计一般分为两部分:

感应头:多为金属或者玻璃外壳，内有感测真空压力的灯丝或者其他感温元件。

控制头:为感应头提供必须的电路和做信号放大和信号数字化的工作。

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如果使用真空法检测泄漏，则应使用辅助真空泵或泄漏检测器对测试产品的内部密封室进行真空处理，并通过氦帽或喷雾法将氦气施加到测试产品的外表面。如果被测产品表面有泄漏孔，氦气通过泄漏孔进入被测产品，inficon英福康真空计保养拆解，然后进入氦气质谱仪检漏仪，实现对被测产品的泄漏测量。根据泄漏方法的不同，真空过程可分为真空注入法和真空氦帽法。

在填充检漏气体之前，有必要快速测试是否有大的泄漏。对大泄漏孔的一个简单测试方法是在短时间内抽空样品并观察抽空压力。如果样品能够保持抽空压力，则表明没有大的泄漏孔，可以填充泄漏检测气体。

如果气密检漏仪在运行过程中没有在高压下进行泄漏测试，那么氦气检漏设备就不能检测到一些泄漏孔。因此，在检漏过程中使用较高的测试压力可以有效地检测实际操作中没有出现的泄漏孔。

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所谓“动态检漏”是指检漏仪器本身的抽气系统仍在正常抽气，仪器的反应时间不大于3s。所谓“*小可检”是指检漏讯号为仪器本底噪声的两倍时，才能认定有漏气讯号输出。所谓“漏孔漏率”是指一个大气压的干燥空气通过漏孔漏向真空侧的漏气速率。仪器本底噪声，一般指在2min 内输出仪表的*大波动量。氦质谱检漏仪维修厂家

需要选择不同尺寸的夹具或辅助工具如管壳的检漏。检漏仪正常工作后，用标准漏孔进行漏率校准，就可以对管壳作喷吹检漏，先将夹具固定在检漏口，待测管壳放在夹具上面的橡皮板上，辅助抽气系统将其抽至预定真空后自动接至仪器的测量系统。然后用喷*连续向管壳喷氦气，时间一般1～3秒，当管壳存在漏孔时，氦气将通过漏孔进入仪器的质谱分析部分，漏量大小在漏率表上直接显示出来，这种方法即能判断漏孔的位置也可测量漏孔的大小。整个检测周期只需一分钟。氦质谱检漏仪维修厂家

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