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  对于高真空/超高真空系统，安捷伦分子泵控制器维修，当系统内的压力低于10-6毫巴以后，萝岗区安捷伦分子泵控制器，系统内氢气占的比例越来越大，而此时氢气的返流也越来越明显，安捷伦分子泵控制器烧坏，因此此时分子泵的有效抽速已经与产品说明书给出的参数相差很大了。分子泵对氢气的压缩比越大，安捷伦分子泵控制器报警，分子泵对氢气的实际有效抽速就越大；反之，则实际有效抽速已经所剩无几。

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分子泵是否对冷却有明确要求？如风冷需要外界温度是多少？如水冷则对水有何具体要求？如未达到要求会出现何后果？

　　答：注意水温和水流量，冷却不良会导致无故停机、碎泵、油变黑等。

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