广州潽拓光电科技有限公司——阿尔卡特涡轮分子泵 真空泵维修价格

分子泵涡轮分子泵主要分为立式和卧式两种。复合分子泵它是由涡轮式和牵引式两种分子泵串联组合起来的一种复合型的分子真空泵。卧式涡轮分子泵，阿尔卡特涡轮分子泵维修销售，这种结构的分子泵是双轴流的，吸气口在两组抽气单元的中央，气体吸入后，分别被左右两侧的叶列组合抽走。立式涡轮分子泵，泵由泵壳、涡轮叶列组件和电动机等组成。现代涡轮分子泵转子和定子之间的间隙较大，通常在lmm左右，因此泵工作时很安全。真空泵维修价格

薄膜沉积指在晶圆表面生成多种薄膜，这些薄膜可以是绝缘体、半导体或导体。它们由不同的材料组成，是使用多种工艺生长或沉积的。通用的沉积技术有化学气相淀积（CVD）、蒸发和溅射PVD。一般来说，其中还要夹杂低温（≤500℃）退火工艺等热处理工艺，用以增进金属层和半导体之间的低电阻接触、消除内应力等。设备运行过程中需要高洁净的真空环境，一般采用以磁悬浮分子泵为主的无油真空系统。真空泵维修价格

IC制造行业属于典型的技术密集型行业，产品技术含量非常高，同时对配套产业要求较高，其中就包括真空设备配套产业。真空设备（真空阀、真空泵、真空腔体及管道等）是半导体各工艺制程环节必备的通用设备，广泛应用于芯片生产制造过程。真空泵维修价格

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广州潽拓光电科技有限公司——阿尔卡特涡轮分子泵 真空泵维修维护

真空泵在使用过程中，zui常出现的问题有：1、真空不足----旋片损坏，缸体磨损，转子与缸体切点间隙变异，更换旋片，修复缸体，调整相应间隙2、流量不足----管道不通畅，泵浦沉积油垢，杂物，电压降低清理输送管道，清洁泵浦，调整电压3、功率过大----超过额定流量使用，吸程过高，泵轴承磨损，调节流量关小出口阀门，降低吸程，更换轴承。真空泵维修维护

真空泵高温解决方案

　　电机功率、转速是和真空泵相匹配的，不能更改。风扇安装于电机主轴上，电机转速决定了风扇转速，也不可更换。增加风扇叶片数量虽能起到一定作用，但叶片数量增加后，动平衡不容易找，如找正不好，会引起电机振动增加。真空泵维修维护

　　(1)将原真空泵风扇罩加长40cm，在里面加装一个与风扇罩同直径轴流风机，轴流风机电机功率850W，转速1489r/min，电压380V。原风扇继续保留。轴流风机另设一路电源控制，阿尔卡特涡轮分子泵保养服务，轴流风机与主电机不设连锁。真空泵启动后及时启动轴流风机运行，真空泵停运后30min停运轴流风机，以使主电机得到充分冷却。真空泵维修维护

　　(2)定期清除真空泵电机上灰尘，保持电机散热片清洁，增加其散热能力。

　　(3)将真空泵所在母线电压调整为400V。

真空泵可单独使用，也可用为增压泵、扩散泵、分子泵的前级泵、维持泵、钛泵的预抽泵用。可用于电真空容器制造、真空焊接、印刷、吸塑、制冷设备维修及仪器仪表设备配套和实验室等。

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 泵壳内注有循环水，在抽真空时，梅州阿尔卡特涡轮分子泵，叶轮旋转，在离心力的作用下，泵壳内的循环水被甩至叶轮四周，在泵壳内壁形成一个旋转水环。又因叶轮是偏心安装在泵壳内的，因此水环与牙状叶片之间形成的空间大小不同。进口真空泵维修

飞轮变形或螺杆磨损

长期使用后，泵内部机械部件可能出现变形或损坏，从而影响泵的效率和性能。如飞轮变形或螺杆磨损，会导致泵的振动、噪音和效率下降，此时需要拆除故障部件并更换新的零部件。进口真空泵维修

真空泵的工作压力应该满足工艺工作压力要求，选型时真空度要高于真空设备真空度的半个到一个数量级。(如：真空工艺要求100Pa的真空度，选用真空泵的真空度至少要50Pa-10Pa)。一般如果要求jue对压强高于3300Pa，则优先选择水环式真空泵作为真空装置，如果jue对压强要求低于3300Pa，则不能选择水环式真空泵，选择旋片式真空泵或更高真空级别的真空泵作为真空获得装置。

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