此方法适用于除去氧化膜或有机物。因为化学物质在硅片表面停留的时间比较短，对反应需要一定时间的清洗效果不好。在喷洗过程中所使用的化学试剂很少，对控制成本及环境保护有利。

随着集成电路制程工艺节点越来越，对实际制造的几个环节也提出了新要求，清洗环节的重要性日益凸显。

清洗的关键性则是由于随着特征尺寸的不断缩小，手动单工位喷淋清洗机定做，半导体对杂质含量越来越敏感，而半导体制造中不可避免会引入一些颗粒、有机物、金属和氧化物等污染物。为了减少杂质对芯片良率的影响，实际生产中不仅仅需要提高单次的清洗效率，还需要在几乎所有制程前后都频繁的进行清洗，清洗步骤约占整体步骤的33%。

常见问题 

自喷清洗机的贮液箱，在槽中没有水或时，必须拆换，小心电源箱，恰当实际操作及维修保养。1、自喷清洗机开启时，标示灯没亮，水泵沒有起动。缘故：A.电源总开关毁坏，沒有开关电源键入。B.保险丝ACFU熔断。C.自喷清洗机水位线不够，全自动维护造成水泵起动不上。2、初洗槽，开启加温半小时上下，温度都还没上去。缘故：A.发烫管道掉下来。B.保险丝熔断。C.加热管烧毁，手动单工位喷淋清洗机定做，必须拆换后。

单工位旋转喷淋清洗机，包括主体、主体中间的固定机构和主体底端的拆卸机构，所述固定机构包括固定柱，所述主体的顶端设置有顶壳，所述顶壳的中间设置有操作门，所述固定柱位于操作门的内侧两端，成都单工位喷淋清洗机定做，所述操作门的一侧对应于固定柱的位置处设置有连接螺栓，所述连接螺栓的一侧中间对应于固定柱的内部设置有齿轮，所述顶壳的内部两侧对应于固定柱的位置处设置有固定杆，所述固定柱的内部两侧对应于齿轮的位置处设置有齿槽。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1.通过齿轮和固定柱的设置，有效的使得旋转喷淋清洗机关闭操作门更加便利，只需旋转齿轮带动固定柱卡合固定，全自动单工位喷淋清洗机定做，不仅使用简便便利，同时节省了时间，使得密封效果较好，有效的放置了旋转喷淋清洗机内部水源的泄漏，且旋转喷淋清洗机清洗后工件表面干净，性能稳定，操作简单，使用寿命长，无死角喷淋，让工件表面及内部无污物残留，降低了工作难度，减少了经济损失。

2.限位滑槽和限位板的设置，有效的使得旋转喷淋清洗机检测维修更加方便，限位板只需通过限位滑槽便可简单的拆卸，使得旋转喷淋清洗机内部展现出，降低了工作难度，节省了时间，增加了旋转喷淋清洗机的使用寿命，增加了工作效率和经济效益。

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