吸气剂泵：它是一种利用吸气剂以化学结合方式捕获气体的真空泵。吸气剂通常是以块状或沉积新鲜薄膜形式存在的金属或合金。升华泵即属于这种形式。吸气剂离子泵：它是使被电离的气体通过电磁场或电场的作用吸附在有吸气材料的表面上，以达到抽气的目的。它有如下几种型式。（1）蒸发离子泵：泵内被电离的气体吸附在以间断或连续方式升华（或蒸发）而覆在泵内壁的吸气材料上，以实现抽气的一种真空泵。（2）溅射离子泵：泵内被电离的气体吸附在由阴极连续溅射散出来的吸气材料上，以实现抽气目的的一种真空泵。低温泵：利用低温表面捕集气体的真空泵按其真空度可以分为：粗真空、高真空、超高真空三大类。

冷凝水的影响:　　冷凝水在多级真空泵中具有无足轻重的位置, 为了包管冷凝水可以将蒸汽充沛冷凝, 真空泵排出压力中的水蒸汽分压有必要高于其所对应的饱满蒸汽压, 所以冷凝水的温度也要低于该压力下的饱满温度, 才干包管泵体的正常作业。别的, 冷凝器的冷凝功率也是十分要害的, 冷凝器的冷凝作用差, 会使蒸汽因来不及冷凝而直接进入下一级泵, 加大后级泵的负荷, 影响泵的抽气才能。为此,冷凝水的进口温度, 流量及冷凝器的运用情况对泵的功能均有很大的影响。

流量单位时间流过任意截面的气体量，符号用“Q”表示，单位为帕·升/秒（Pa·L/s）或托·升/秒（Torr·L/s）。流导表示真空管道通过气体的能力。单位为升/秒（L/s），在稳定状态下，管道流导等于管道流量除以管道两端压强差。符号记作“U”。标准大气压压强为每平方厘米101325达因的气压，符号：（Atm）。极限真空真空容器经充分抽气后，稳定在某一真空度，此真空度称为极限真空。通常真空容器须经12小时炼气，再经12小时抽真空，一个小时每隔10分钟测量一次，取其10次的平均值为极限真空值。