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真空镀膜技术的发展历程可谓波澜壮阔。自20世纪初,科学家们开始探索真空环境下的薄膜沉积技术,至今已经取得了显著的进步。随着科学技术的不断进步,真空镀膜技术已经从开始的简单物理气相沉积,发展到如今涵盖多种沉积方法和多种薄膜材料的复杂体系。这些技术包括热蒸发镀膜、溅射镀膜、离子镀膜、分子束外延等,涉及的薄膜材料也涵盖了金属、合金、化合物、陶瓷等多种类型。
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