注意事项

除了做实验外，不要停留在高温炉管区。实验工作完毕时，若无人继续使用，请关特殊气体，保留N2流动，并查看是否有其它电源该关而没有关、煮酸用的小电炉或其它，请随手关掉。处理HF时，请戴手套，如不小心碰到HF时，请立刻冲水，用葡萄酸钙加2%之水，揉擦伤处15'。石英玻璃制品请小心使用，以免断裂，引起严重割伤。避免吸入从炉子或处理槽所冒出之各种气体。qing化钾(KCN)不可与酸类混置，因两者可产生剧i毒之KCN气体。一旦发现有妨碍安全之事物时，请立即通知有关人员(技术员等)。请节约纯水用量。破晶片、滤纸、棉花棒，请勿掉入清洗槽的底部排水孔，以免因排水不良造成地板渍水。长短推杆之前端，在还没使用到时，请朝上以免污染。晶片进出炉口时，请勿碰触炉管口，以免污染炉管。

高温炉操作规程

1 准备工作a，检查电源线接触是否良好b，检查连接线是否正常c，检查冷却水是否正常d，检查密封性是否正常e， 准备所需工具：无尘纸、无水酒精、帆布手套、作业手套、口罩、耐高温手套、石墨推车、不锈钢托盘2 开炉a，打开主电源开关b， 向炉体充ya气至大气压，打开炉体前门，取下石墨盖板c， 将输送车开关打至 OUTd， 清炉 清理炉膛内壁、石墨件及保温材料上的污物3装料a，将石墨坩埚放置于输送车平台上，使用限位杆确定其位置，依次装入硅料。b、拔出限位杆，输送车开关打至 IN，依次操作 UP - FORWARD - BACK - DOWN，将坩埚装入炉膛内，并确定输送车会到初始位置。c、装入石墨盖板，拧紧石墨螺栓，关紧炉门4 抽气a、检查炉门是否关紧，真空系统是否密封b、置 DP 按钮于 DP ON，打开干式真空泵，打开真空计开关 P1G1，打开干式真空泵 。阀门，开始抽气测试泄漏率，c、当压力表指示为 50Pa是关闭真空泵阀门（非真空泵）露铝≤1Pa/min，打开ya气阀门充ya气（20L/min）。加热 先打开水环泵 再按 RUN，高温箱式电阻炉，开始工艺加热。冷却a、加热结束后，按工艺条件进行冷却。

使用高温炉长期停机时应注意的事项：

1、一次使用高温炉或长期关闭时，需要烘干。烤箱应在室温下于200°C保持4小时。在200°C至600°C下保持4小时。使用时，炉温不得超过额定温度，以免烧毁加热元件。禁止向炉内注入各种液体和可溶性金属。马弗炉的工作温度低于50°C的高温，此时炉子寿命长。

2、请勿在高温下拔出热电偶，以防止护套破损。

3、始终保持炉子清洁，并及时清除炉子中的氧化物。

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