真空泵不断向高速度发展，由于滑片和泵体的高速摩擦使油温升高，油品很容易氧化分解，尤其扩散泵往往处于很高的温度环境下工作，使系统内蒸气压升高，真空度降低，因此要求真空泵油具有良好的热氧化安定性。真空泵吸入的如果是腐蚀性气体，会与油发生化学反应，腐蚀泵内零件；吸入空气中往往含有水汽冷凝水，引起真空泵油的乳化并使金属腐蚀，所以要求具有良好的抗腐蚀和抗乳化性。主要要求真空泵中不携带轻质组分，以免影响油品的饱和蒸气压。极限压力是真空泵油重要的使用性能指标以了解在低真空极限压力下真空泵的极限压力。

机械选择 ⑴真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允许，应选择无振动的泵或者采取防振动措施。⑵了解被抽气体成分，气体中含不含可凝蒸气，有无颗粒灰尘，有无腐蚀性等。选择真空泵时，需要知道气体成分，针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体，应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备，如冷凝器、除尘器等。⑶真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。

内走漏的影响:　　在整个钢液处置过程中, 体系的真空度是跟着钢液的放气量的削减而不断升高的。在钢液处置前期, 体系真空度低, 放气量大, 需求前级泵的抽气才能大, 通常选用多个泵并联的方式增大体系的抽气量。而当体系真空度不断升高时, 体系的放气量也随之削减, 为了下降蒸汽耗量, 节省能源, 需封闭前级并联泵中的若干只。泵布局图中的3A、3B、4A、4B 被称作前级泵, 或叫预抽泵,B1、B2叫增压泵。当全泵投入时, B1、B2 开, 3B、4B 泵封闭。在布局图中可见体系是经过两个逆止阀与3B、4B 泵进行衔接的, 若是这两个逆止阀开关不到位,或许有走漏, 都会给体系的才能形成影响尤其是阀的走漏会形成体系短路, 使上一级泵因背压过高而无法正常作业, 呈现二重真空表象。其次, 真空泵的喷嘴是由两部分组成的, 这两部分是靠法兰衔接的,关于联接法兰在泵体内的真空泵, 若联接处因为密封等缘由形成蒸汽的走漏, 也会给泵的功能形成影响。