广州潽拓光电科技有限公司——阿尔卡特涡轮分子真空泵 进口分子泵维修电话
轴承、减震维护?随着分子泵使用时间延长,分子泵轴承在高速运转中受到的磨损越来越严重,减震系统的减震能力越来越差,到一定程度后必须进行更换,否则可能出现更大程度的损坏。判断标准:分子泵的振动突然增大,声音出现异常;分子泵启动时间增长或无法达到正常转速。判断标准:分子泵的振动突然增大,声音出现异常;分子泵启动时间增长或无法达到正常转速。进口分子泵维修电话
由于涡轮分子泵对于气体的压缩比很好,因此工作时油蒸汽的回流问题基本可以忽略不计。涡轮分子泵的极限真空度能达到10-8Pa的数量级,抽速可以达到1000L/s,达到大抽速的压力区间是1~10-8Pa之间,因此在使用时要以旋片机械泵作为其前级泵。进口分子泵维修电话
清洗??分子泵使用一定时间后,在系统漏率和系统卫生没有变化的情况下,真空性能下真空性能下降很多,甚至长时间烘烤也不能恢复其真空性能。这时应对泵进行清洗。?注意!!?分子泵如果污染严重,则必须完全拆开,由技术人员处理。严禁未经培训和真空性能下降很多,甚至长时间烘烤也不能恢复其真空性能。这时应对泵进行清洗。授权的人员私自拆泵。进口分子泵维修电话
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广州潽拓光电科技有限公司——阿尔卡特涡轮分子真空泵 真空泵维修维护
旋片泵的旋片把转子、泵腔和两个端盖所围成的月牙形空间分隔成A、B、C三部分,当转子按箭头方向旋转时,与吸气口相通的空间A的容积是逐渐增大的,阿尔卡特涡轮分子真空泵故障维修,正处于吸气过程。而与排气口相通的空间C的容积是逐渐缩小的,正处于排气过程。居中的空间B的容积也是逐渐减小的,正处于压缩过程。由于空间A的容积是逐渐增大(即膨胀),气体压强降低,泵的入口处外部气体压强大于空间A内的压强,因此将气体吸入。
当空间A与吸气口隔绝时,阿尔卡特涡轮分子真空泵机组维修,即转至空间B的位置,气体开始被压缩,容积逐渐缩小,*后与排气口相通。当被压缩气体超过排气压强时,排气阀被压缩气体推开,气体穿过油箱内的油层排至大气中。由泵的连续运转,达到连续抽气的目的。如果排出的气体通过气道而转入另一级(低真空级),由低真空级抽走,再经低真空级压缩后排至大气中,即组成了双级泵。这时总的压缩比由两级来负担,因而提高了极限真空度。真空泵维修维护
真空机组工作原理:
真空机组是以泵为主泵,以旋片泵为前级泵串联而成的。旋片真空机组选用的旋片泵作为前级泵,因此它克服了旋片泵使用时在一定压力下抽气速率低的缺点,而且同时保留了罗茨泵能迅速工作,汕头阿尔卡特涡轮分子真空泵,有比较大抽气速率等优点。真空泵维修维护
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广州潽拓光电科技有限公司——阿尔卡特涡轮分子真空泵 磁悬浮涡轮分子泵维修
含加热模块的磁悬浮分子泵主要用于半导体制造设备,在集成电路刻蚀等工艺过程中,部分工艺气体容易冷却凝结,附着在分子泵转子及内壁,造成分子泵转子不平衡量增大或抽气通道阻塞,影响分子泵的稳定运行。加上加热模块可以适当提高泵体温度,降低工艺气体凝结,提高分子泵稳定性及寿命。 磁悬浮涡轮分子泵维修
我们所称呼的“质谱仪单元”是氦气检漏仪的核xin部分。气体从检漏 仪的入口被导入质谱仪单元。在这里用高能量的电子束对带电的气 体粒子进行撞击 电子束利用金属丝在高温下产 生。如果中性气体粒子层的电子被撞击,阿尔卡特涡轮分子真空泵设备维修,它会从电子层脱出。结 果,带正电的气体粒子—离子—留了下来。大部分导入的气体粒子被电子之间的碰撞电离。 磁悬浮涡轮分子泵维修
分子泵的工作区间是有限制的,*大启动压强也要在100pa,直接大气启动只会长期处于过载状态运行,并无抽气效果。 磁悬浮涡轮分子泵维修
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