氦质谱检漏系统是一种高灵敏度的气体检测仪器，它利用了带电粒子在磁场中偏转的原理来识别不同原子量的气体。其工作过程如下：首先将待测容器充入惰性气体（主要是氮气），然后将管路接通真空泵进行抽空处理；接着打开进样阀使被探测的气体进入静电引弧极间形成辉光放电而被离子化、激发而产生正负电子流；之后由稳压电源供给高压于阴板和阳板上分别收集这些自由电子并维持两板的导电回路闭合电路；通过测量出电流强度即可确定泄漏率的大小或样品中的质量分数含量。

检漏系统是一种用于检测泄漏的自动化设备，氦质谱检漏仪系统，通常由传感器、控制器和执行器组成。它们可以探测到液体或气体的微小流动信号并发出警报以提醒操作员及时处理泄露问题。
在工业生产中，管道系统和储罐是常见的被测对象，因为这些设备和容器中的介质经常发生压力波动或者温度变化而产生气体膨胀导致轻微渗漏现象的发生。如果不加以监测和管理，可能会造成严重的事故后果甚至危及生命安全。因此，建立一套有效的检漏体系对于保障安全生产至关重要。

氦检漏系统主要用于检测工业设备中的微量泄漏。它采用高纯度惰性气体——氦气作为示踪介质，通过测量其压力变化来评估设备的密封性能。该系统的应用范围广泛，包括但不限于：
*航空航天、领域的关键部件或精密仪器；
*压力容器和管道的在线监测与维护保养等；
*在汽车制造行业中用于检查发动机燃油系统和刹车管路的泄露情况以及在空调制冷系统中查验是否存在微小渗漏。

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