SU8模具加工设备企业-SU8模具加工设备-顶旭苏州微控技术

耗材

光刻掩膜板


菲林掩膜板适用于制备线条宽度较大的结构,通常在20微米以上。这种掩膜板制备简单,适合制备相对宽大和较粗糙的图案。然而,由于其分辨率有限,SU8模具加工设备,无法满足制备细致微结构的需求。因此,对于需要制备线条宽度大于20微米的简单结构,菲林掩膜板是一个合适的选择。

玻璃掩膜板适用于制备线条宽度小于20微米的精细结构,SU8模具加工设备价格,以及需要多层对准的情况。玻璃掩膜板的制备工艺更加复杂,但由于其高分辨率,能够实现更细致、更精que的微结构。特别是在需要制备复杂多层结构且对准精度要求较高的情况下,玻璃掩膜板具有明显优势。

在选择掩膜板类型时,应根据所需制备的图案特性、线条宽度以及对制备精度和复杂度的要求进行权衡。菲林掩膜板适用于相对简单的结构,而玻璃掩膜板则更适合制备更细致和复杂的微结构。综合考虑制备目标和技术要求,选择适当的掩膜板类型将有助于确保制备过程的成功和效率。




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耗材

硅片

硅片没有特殊要求,单面抛光即可。制备SU8模具时在硅片抛光旋涂光刻胶。

光刻掩膜板

光刻掩膜版(又称光罩,英文为Mask Reticle),简称掩膜版,是制备SU8模具光刻工艺所使用的图形母版,由不透明的遮光薄膜在透明基板上形成微结构掩膜图形,通过曝光过程将微结构图形信息转移到SU8光刻胶涂层上,实现微结构的jing确复zhi。光刻掩膜版,一般可分为菲林掩膜版和玻璃掩膜版两种。





光刻胶SU-8是一种常用的负性光刻胶,通常由环氧树脂和光敏剂组成,它具有许多优点,SU8模具加工设备怎么样,使其在制备微结构和器件方面成为理想的选择:

高分辨率:SU-8光刻胶具有出色的分辨率,可以制备细致的微结构,适合制作小尺寸线条和微细图案。

粘附性强:SU-8光刻胶在许多基片表面具有良好的粘附性,可以在不同材料上制备微结构。

厚度可调:SU-8光刻胶可以通过多次涂覆和光刻来控制厚度,适用于制备不同厚度的微结构。

化学稳定性:SU-8光刻胶具有较高的化学稳定性,可以耐受许多溶剂和化学物质,适用于各种应用环境。

热稳定性:SU-8光刻胶在高温下具有较好的稳定性,适用于需要高温处理的制备过程。

多层光刻:SU-8光刻胶可用于多层光刻制备,能够实现更复杂的微结构和器件。

应用广泛:SU-8光刻胶在微流体器件、生物芯片、MEMS、光学器件等多个领域中得到广泛应用。




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