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Edwards RV系列油封旋片泵功能,同时具备高真空和高吞吐量性能,低的噪音级别和的气囊装置,使其成为适用于应用和环境的理想产品。这些泵的抽速范围为3至12 m3/hr。Edwards RV12油封式旋片真空泵爱德华真空泵Edwards真空泵旋片泵油回转高真空泵爱德华RV12油封式旋片真空泵Edwards真空泵。

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分子泵广泛应用于高能加SU器、等离子体物理空间研究、原子束分子束系统、表面物理和分析仪器以及高*电子元器件制造等涉及真空技术的半导体产业、电子信息产业、航空航天工业及科研事业等领域。

Edwards STP 磁悬浮涡轮分子泵系列,对于需要长时间正常运行、无碳氢化合物污染、维护量尽可能少和低振动的应用,并且是许多具有挑战性的半导体应用的优选分子泵。大多数 Edwards STP 磁悬浮涡轮分子泵型号均还提供镀镍涂层的内部过流部件和氮气吹扫设备的ZHUAN用耐腐蚀型号。对于实验室应用,STP 磁悬浮涡轮分子泵极为可靠。

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