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视频作者:广州潽拓光电科技有限公司





广州潽拓光电科技有限公司——普发真空分子泵涡轮分子泵定期保养

定期保养

油旋片泵的泵油起到润滑、密封和冷却的作用,工艺气体中的粉尘,普发真空分子泵ATH500维修,泵运转时磨损下来的金属碎屑会进入到泵油当中,未成功排出的可凝蒸汽也会在冷凝后混合在泵油内,到达一定程度,就会带来泵油变色、乳化、润滑性能下降,所以需要定期更换泵油,有些旋片泵配置了专门的油过滤器,在更换泵油时也要一并更换。更换泵油的频率取决于实际的工艺和泵油的种类,一般建议每半年到1年要更换一次。



涡轮分子泵特点

抽速大、无油、启动快、无油污染、维护简单

工作范围:清洁的低真空~中、高真空,大气~超高真空

极限真空:10/ 10torr

缺点:结构复杂、对轴承耐磨程度要求高、制造成本高



有大量粉尘的应用一定要加装粉尘过滤器

在粉尘量较大的应用中,应加装进气口粉尘过滤器,普发真空分子泵ATH500价钱,以防止粉尘吸入。否则,大量的粉尘进入泵腔,将造成泵腔严重磨损,普发真空分子泵维修服务,使整台泵失去维修价值。

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由于真空泵有选择性抽气,因而,有时选用一种泵不能满足抽气要求,需要几种泵组合起来,互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对ya有很高的抽速,但不能抽氦,而三极型溅射离子泵,(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对ya有一定的抽速,两者组合起来,便会使真空装置得到较好的真空度。另外,有的真空泵不能在大气压下工作,需要预真空;有的真空泵出口压强低于大气压,需要前级泵,故都需要把泵组合起来使用。



涡轮分子泵 HiPace 350 特性出色的抽速, 适用于小分子气体

坚固的高xing能涡轮分子泵,氮气抽速可达 300 l/s

结构紧凑,茂名普发真空分子泵, 性能强大

任意方向安装

轻和重气体的高抽速

高工艺完整性,可抵抗颗粒物

高气体通量,即使是重气体



无油(耐腐蚀)立式往复真空泵是卧式真空泵的更新换代产品,是获得粗真空的主要设备。由于采用全密封装置,实现了曲轴箱和汽缸的完全隔离;加上活塞环使用了自润滑材料,便实现了的无油润滑。由于无污水排放,所以该型真空泵特别适用于化工、yi药和食品等行业的真空蒸馏、真空蒸发、真空干燥、真空浓缩、真空浸渍等工艺过程中。

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单级双吸泵真空泵和普通的水泵作用一样,其特点是把旋转水环当做活塞来改变泵腔的容积,以达到吸气、压缩和排气的目的。它的零部件包括转子叶轮、泵壳、端板、阀片、轴承、进排气口、进口单向阀、轴端密封等。通常情况下,轴端是密封的,是利用带水封环的填料进行密封处理的,其中密封水是通过端板上的孔道导入导水封环位置的。哪里有修真空泵的


PFEIFFER TMH071 P涡轮分子泵大量用于PFEIFFER、Agilent(VARIAN)、 Ulvac、INFICON、VST、ABI、SHIMADZU等分析设备及氦检仪中分析仪器如氦质谱检漏仪,及小型分子泵组中。德国普发PFEIFFER TMH071 P分子泵进气法兰口DN63 ISO-KF/DN63 CF-F,出气法兰口DN16ISO-KF,抽速可达到60L/s, 转速为90000rpm,极限真空<1*10E8mBAR; 对应的控制器为PFEIFFER TC600.


当今,现代化的半导体行业中,越来越多地应用涡轮分子泵。如溅射、刻蚀、蒸发、注入、分子束外延、离子加工等设备都需要在真空环境下运行。又如电子显微镜,表面分析仪器,残余气体分析仪及氦质谱检漏仪等也经常使用涡轮分子泵来抽真空。此外,在宇宙模拟设备、核聚变装置、太阳能集热管镀膜生产线上也都改用大型涡轮分子泵或低温泵来代替油扩散泵系统,以防止油蒸汽的污染。因此,z近十几年来,涡轮分子泵,在国内、外都得到了显着的改进和发展。在涡轮分子泵的应用日益增加干式的前级泵还没有大量普及和应用的情况下,有时还不得不用油封机械泵来作涡轮分子泵的前级泵。因此,针对这种现状,对涡轮分子泵的合理选用和正确操作是很重要的。

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