对特气的危害性进行分析，特种气体价格，通过本质安全设计，消除安全隐患。根据行业规范，对特气房选址、安全间距、防火分区、房间通风、电气防爆等进行评估。管道设计应进行保压和氦测漏，确保系统密闭性。特种气体的应用领域主要在集成电路制造、太阳能电池、化合物半导体、液晶显示器、光纤生产四大领域，其中主要应用于半导体集成电路的生产制造。在半导体工业中应用的有110 余种单元特种气体，其中常用的有20～30 种。根据有关数据显示，中国特种功能电子气体市场规模逐年增长，仅2016年，中国特种电子气体市场规模约为98亿元左右。值得关注的是，特种气体供应商，从产业链以及技术层面欧美国家占据较好的地位。

特种气体是工业气体中的一个新兴门类，是随着近年来工业、科学研究、自动 化技术、精密检测，特别是微电子技术的发展而发展起来的。特种气体种类：广义的“电子气体”指可用于电子工业生产中使用的气体，是重要原材料之一，工业特种气体， 狭义的“电子气体”特指可用于电子半导体领域生产的特种气体。特种标准气体严格意义上应称为标准校正气体，是一种高度均匀，稳定性良好和量值准确的气体，它可以是单一的纯气体或高纯气体，也可以是由多组分气体配制而成的混合气体。标准气体属于标准物质之一，长沙特种气体，故又称为气体标准物质。

 目前，国内共有特种气体生产企业达150余家，多数企业生产规模较小。跨国企业已经在国内投资设立了众多合资或独资的气体公司，占国内销售气体产品市场份额的70%左右。硅片的蚀刻气体（特种气体）主要是氟基气体，包括四氟化碳、四氟化碳/氧气、六氟化硫、六氟乙1烷/氧气、三氟化氮等。有气体仓库贮存。气瓶仓库应通风干燥、清洁， 避免阳光直射， 气瓶库应清楚明“气瓶贮存”字样， 显示适当的危险标记(例如、、有毒等) 。 　

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