氦质谱检漏仪：

1、氦气的质量轻，易于穿过漏孔，进入系统时流动和扩散快，因此响应快，检漏灵敏度高。

2、氦离子质荷比小，因此可以减小磁分析器偏转半径的尺寸和选用较弱一点的磁场。同时一阶氦离子的质荷比与一阶氢离子、二阶碳离子相差较大，利于离子分离，可以适当降低对分析器制造精度的要求，使质谱室中氦离子通过的各个缝隙，从而提高氦离子的传输率。

3、氦在空气中及残余气体中的含量少，在材料出气中氦气也很少，因此本底压力小，检漏时本底信号小。

氢气纯度分析仪

可实时监测氢气、CO2的纯度。气体置换时主要通过气体纯度监测装置的样气进口来监控气体纯度；量程气进口只在置换时用，氦检漏设备，可实时调看供氢纯度或供CO2纯度。参比空气进口为调试时用。纯度仪回气排空

工作原理：

仪器由特殊设计的风机，压差交送器及压差计组成，实际则是风机产生的压差，包膜式氦检漏设备，但由于此压差值与气体的密度有关，而气体密度又直接与气体的成分成比例，故只要测出风机压差就等于测出了气体密度，实际上两只压差计是直接按密度和纯度标注的。

氢冷汽轮发电机

氢气中含氧量很少，环保柜氦检漏设备，低于2％，不助燃，即使发电机内部发生短路故障，也不会有着火的危险，从而可使故障损坏程度大为减轻。

在氢气中，板式换热器氦检漏设备，噪音较小，而且绝缘材料不易受氧化和电晕的损害。

缺点是一旦于空气混合后在一定比例内(4％～74．2％)具有强烈的特性，所以发电机外壳都设计成防爆型，气体置换采用C02作为中间介质。

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