电子芯片制造对高纯氩气纯度要求多高？

电子芯片制造对高纯氩气纯度要求极高，通常要达到 99.999% 甚至更高。

在光刻工序，氩气作为保护气，防止光刻胶被氧化，微小杂质都可能使光刻图案模糊、缺陷增多，影响芯片集成度与性能。

蚀刻环节，高纯氩气携带蚀刻气体均匀分布，准确去除芯片表面多余材料，纯度不够易造成蚀刻不均匀，导致短路、断路等致命问题。高纯氩气为芯片微观世界里复杂精密的工艺保驾护航，是保障芯片质量高产出的关键因素之一。

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高纯氩气由于其化学性质稳定，纯度高，被广泛应用于多个领域，以下是一些高纯氩气的主要用途：

高纯氩气具有广泛的工业用途，由于其高纯度，高纯氩气主要用作保护气体，如金属加工、半导体制造、激光技术、照明等领域。它能防止材料氧化，保护焊接区域不受污染，增强焊接强度和耐腐蚀性。此外，高纯氩气还用于食品和药品行业的生产过程中，如充气包装。

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生产高纯氩气的主要方法有哪些？

生产高纯氩气主要有以下方法：

一是空分法。通过对空气进行低温液化，然后利用各气体沸点不同进行精馏分离。空气先被压缩、冷却和液化，在精馏塔中，氩气与氧气、氮气等逐步分离。这种方法能够大规模生产氩气，纯度较高，可达到99.999%以上，适用于工业大量生产。

二是从工业废气中回收。在一些化工生产过程产生的废气中含有氩气成分，通过吸附、低温冷凝等一系列回收和提纯技术，将氩气从废气中提取出来并净化，以达到高纯氩气的标准。

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