真空设备检漏与维修

为什么要检漏

泄漏和密封相对应

很多情况下，真空箱式氦检漏系统，我们需要密封住一定的空间，防止气体或液体在压力的作用下，流进或流出这个空间。如真空设备（真空镀膜机，液晶注入机，PVD，半导体外延等等），需要在真空条件下工作，要求在工作时，空气不能漏进工作腔体，否则生产不能进行，或者产生次品，浪费人力物力。另外装液体或气体的容器（液压气瓶，氧气瓶，空调冰箱中的雪种容器等等），要求在容器内外存在压差的情况下，不能有气体或液体漏出。如果有漏，后果严重，一般会造成有效物资的浪费，如有毒物资、腐蚀性气体漏出，甚至会酿成事故。

这些对密封性有要求的产品或设备，在投入使用前，就要行检漏，使用中也要定期进行检漏检查。

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氢冷汽轮发电机

(1)、电机内维持氢的纯度为97％时，其密度只有空气的十分之一，所以电机的通风损耗及转子表面对气体的摩擦损耗都大大减小。

(2)、氢的导热系数为空气的6.69倍，它可以使绝缘内间隙及其它间隙的导热能力改善，从而有利于加强发电机的冷却。

(3)、由于氢气的表面散热能力强(纯度为97％的氢气表面散热系数约为空气的1.35倍)，发电机的损耗可由氢气很快带走。因此，氦检漏系统，能使发电机的出入口风温差降低10～15℃左右。增加氢压还可使散热能力按压力的0.8次方增加。

(4)、经过严格处理的冷用氢气可以保证发电机内部清洁，通风散热效果稳定，而且不会产生由于脏污引起的事故。

发电机氢气系统

(1) 发电机氢冷系统及气体置换装置能满足发电机充氢、自动补氢、排氢及中间气体介质置换工作的要求，能自动监测和保持氢气的额定压力、规定纯度及冷氢温度、湿度、CO2纯度等。

(2) 发电机氢冷系统为闭式氢气循环系统，热氢通过发电机的氢气冷却器由冷却水冷却。

(3) 发电机氢气冷却器采用散热形式。

(4) 发电机设置氢气干燥器，除了监测发电机内氢气用的氢气湿度在线监测仪外，氢气干燥器的出口处也装设具有远传在线信号的非氢气湿度仪。干燥装置能保证发电机在额定条件下机内氢气不高于－5℃同时又不低于－25℃。氢气干燥器设有循环风机。

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