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视频作者:广州潽拓光电科技有限公司





广州潽拓光电科技有限公司——Alcatel二手分子泵维修推荐 分子泵升级改造

分子泵是高速旋转的机械,轴承故障可能会造成泵叶片打碎直接报废;而当轴承工作状态不良时,会有一系列的现象,如分子泵无法启动,运行噪音增大,温度或功率异常增加等,在排除外界环境和进排气压力过高等外界因素后,应尽快停泵,送到维修中心进行检修。



当活塞到达上部顶端时,关闭进气阀,同时打开排气阀,使膨胀机与低压端相通,气体膨胀制冷,活塞向下移动把冷量贮存在活塞内的蓄冷器中。如此多次循环,便在一、二级冷头处分别获得低于80K和20K的低温和所需的制冷功率,并使气体在低温面上凝结,在活性炭上吸附而被抽除。




前级泵对于充分发挥涡轮分子泵的性能非常重要。安捷伦的真空产品选型手册为各个涡轮分子泵型号匹配的前级泵提供了具体建议,采用推荐的前级泵可以为涡轮分子泵提供合适的前级压力。有的型号推荐了多款前级泵,用户可以根据具体的工艺进行选择:腔体很大、需要频繁粗抽,工作压力较高或者气载比较大的应用,选择抽速较大的前级泵;反之选择抽速较小的前级泵。

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广州潽拓光电能维修阿尔卡特全系列产品,其大部分分子泵转速在27000rpm,轴承为开放式轴承,需定期添加润滑油脂,其国内公司不能调整动平衡,故国内维修的分子泵寿命在8-12个月。



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4、如果真空泵配置交流电机:电机的电容器损坏。

解决办法:修理或更换电机。(要*业的真空泵维修人员操作) 磁悬浮分子泵维修

5、检查真空泵油的使用情况,真空泵已返油、油温太低、油已变质、使真空泵腔内充满真空泵油,观察油质是不是己经乳化(白沫)或者碳化(变黑),真空泵油的变质会影响到旋片与转子的摩擦而导致叶片卡死在泵腔内。

解决办法:真空泵油更换,拆开真空泵修复缸体等部件,叶片如损坏严重还需要更换真空泵叶片。

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以气体传输基本概念运行的真空泵依据将气体移动依据泵来导致机械泵。这类泵可以不断运用,而无需重塑。所有气体拌和泵均为正排量泵或动排量泵(角动量运送)。正排量(气体排量)泵将气体从密闭性地域排进气体,再排进中上游泵级。分子泵升级改造



现在大部分涡轮分子泵转子都用油润滑轴承。因为这种轴承在转子的排气侧,所以油蒸汽不会到达涡轮分子泵的入口。油通过轴上开的倒锥孔上油润滑上、下轴承。在油循环的过程中,应能控制加速、减速、全速运转,转速降低运行或电源故障时的油量。分子泵升级改造


分子泵工作时转速很高(数万转/分钟),加减速过程中,不可避免地要经过某些危险的共振频率,长时间在这些共振频率运转,会增加轴承负荷、进而增加分子泵故障的风险。在真空下自然停泵(空挡滑行)时,由于真空下空气阻力很小,分子泵转子要经过几十分钟甚至数小时的时间才能完全停止,其中在共振频率运转的时间也会比较长。

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