质量流量计

流量传感器采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量(无需温度压力补偿)，将传感器加热电桥测得的流量信号送入放大器，触摸屏质量流量控制器，放大后的值和通过显示屏设置的流量值进行比较，用比较值控制调节阀开度，本设备从比较到控制的时间非常短，满足了及时性和准确性的要求。本设计对产品的安装角度和位置不敏感，无需反复校准调零，

本设备可以通过触摸屏设置气体总量，在设定流量下通过时间参数自动计算气体总量，当气体总量达到设定值时，调节阀立即关闭。

本设备可以通过触摸屏设置气体种类，气体的种类必须和所测气体一致，触摸屏质量流量控制器原理，每一种气体的各项性能不尽相同，选对气体种类是进行流量和总量控制的前提。

质量流量计产品特点

产品特点，本产品集成触摸显示屏，可以通过显示屏选择待控制气体的种类、压力控制值的大流量体积、精度等，操作方便，实时显示当前流量信息。本产品在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。其典型的应用场合是:电子工艺设备，如扩散、氧化、外延、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统毛细管测量、气相色谱仪及其它分析仪器。

质量流量控制器

质量流量控制器是一种精密的流体控制设备，触摸屏质量流量控制器厂家，用于准确测量和控制气体的质量流率。其主要功能是在保持设定的质量流量的同时，对气体进行准确的调节和稳定输出。这种控制器广泛应用于各种工业和科学研究中需要严格控制气体流的场合，如半导体制造、化学分析仪器以及实验室研究等领域。

其工作原理基于热导式或压力差式的传感器技术来感知并计算通过的气体流量；再通过内部的微处理器对这些数据进行处理并与设定的目标值进行比较后调整阀门开度来实现准确的质量控制效果。此外还具有多种安全保护功能及远程控制接口便于集成到自动化系统中实现远程监控与控制操作。总之是现代化工业生产与科研实验中不可或缺的重要工具之一.

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