辅助真空系统：对子漏气速率和放气速率较大或者体积较大的被检件，若直接与检漏仪相连，检漏仪的真空度可能抽不上去，使检漏仪无法工作。此种情况须加接辅助真空系统，提高对被检件的抽速。比较简单的辅助真空系统只需一个机械泵和两个阀门，复杂的系统可由前级泵、次级泵、阀门、真空规及标准漏孔等组成。次级泵可用扩散系或罗茨泵，前级系用气镇式机械泵比较好。

氦质谱检漏仪检漏原理及方式：氦质谱检漏仪的检漏方式，氦质谱检漏仪的检漏方式通常有两种，一种为常规检漏，另一种为逆扩散检漏。逆扩散检漏是把被检件接在分子泵出气口一端，漏入的氦气由分子泵出气口逆着泵的排气方向进入安装在泵的进气口端的质谱管内而被检测。这一检漏方式是基于分子泵对不同质量的气体具有不同压缩比(气体在分子泵出气口压强与进气口压强之比)即利用不同气体的逆扩散程度不同程度而设计的。逆扩散原理：逆扩散方式检漏允许被检件内压强较高，氦质谱检漏仪可达300Pa(一般常规检漏仪为0.05Pa以下)，适合检大型容器或有大漏的器件，徐州板，也适合吸检漏。逆扩散方式还具有质谱管不易受污染，双极板，灯丝寿命长等优点。

差压法气密性检测的工作循环包括4个过程，双极板价格，即充气过程、平衡过程、检测过程和排气过程。(2)平衡过程：关闭充气阀、测漏阀，截断气源与标准容器、被测工件的通路，由于充气及关闭阀的动作会引起容器内气体压力的脉动，导致标准容器与被测工件间的差压不稳定，呈现出无规则的变化，必须延迟一段时间，待差压值稳定后才能测量差压变化。(3)检测过程：检测差压传感器的输出，由于泄漏产生的压力降在测试压力附近近似的与时间成正比，因此可以测量出在一定时间内差压的变化值。(4)排气过程：待测量完差压的变化值，标准容器、被测工件内的剩余气体通过气阀排到大气里，结束一个检测过程。

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