生产厂家为了提高产品质量于是采用“浸水检漏”来发现不合格工件，这就是通常所说的“水检”，这种检测工艺已经有了近百年的历史。七十年代中后期，一些工业技术发达forbidry为了克服“水检”工艺存在对工件的后续作业带来的一些弊病，先后开始研究代替“水检”的新工艺、新设备。九十年代初，双极板，用洁净干燥空气作为工作介质对工件的容腔，金属双极板，比如：摩托车的发动机缸体、汽车的发动机缸体、散热器、刹车系统、蒸发器、灯具，摄像头等进行密封性能检测的工艺已经成熟，并有一些相应的检测设备陆续问世。这就是气密性检测设备的发展历史。

辅助真空系统：对子漏气速率和放气速率较大或者体积较大的被检件，若直接与检漏仪相连，检漏仪的真空度可能抽不上去，使检漏仪无法工作。此种情况须加接辅助真空系统，提高对被检件的抽速。比较简单的辅助真空系统只需一个机械泵和两个阀门，丽水板，复杂的系统可由前级泵、次级泵、阀门、真空规及标准漏孔等组成。次级泵可用扩散系或罗茨泵，膜电极，前级系用气镇式机械泵比较好。

真空检漏的必要性及影响系统真空度的气体来源：真空系统要求获得并保持真空状态，如果存在严重的漏气则是系统的重大缺陷，那么就需要进行相关的真空检漏。透气和漏气的本质不同。透气是气体从密度大的一侧向密度小的一侧渗入、扩散、通过和逸出的过程，任何材料都有一定的渗透率。漏气是由于材料本身的缺陷或封口部不良，导致气体分子从高压侧流向低压侧的现象。还有一种情况是常温下不发生漏气，但温度变化时由热膨胀系数的差异也可能导致漏气。图1是影响系统真空度的气体来源示意图。

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