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 特种气体在集成电路领域的应用：特种气体是半导体材料制造过程不可缺少的基硅性支撑材料，处于半导体产业链的 上游，工业特种气体价格，被称为半导体的“源”，主要应用于薄膜、刻蚀、掺杂、气相沉积、扩散等工艺。特种气体分类：标准气体严格意义上应称为标准校正气体，特种气体生产厂家，是一种高度均匀， 稳定性良好和量值准确的气体，可分为单元标准气体和多元标准气体，目前标准气基本 满足了我国石油、化工、环保、传感器校核等诸多领域的需求，特种气体在太阳能电池中的应用：非晶硅太阳能 电池在 LPCVD 沉积 TCO 工序用到 DEZn、B2H6；非晶/微晶硅沉积工序用到 SiH4、PH3/H2、 TMB/H2、CH4、NF3 等。

 特种气体分类：电子气体是指用于半 导体及其它电子产品生产的气体，目前，我国电子气体品种基本齐全，特种气体，但数量和质量与 发达国家相比，尚有较大差距；特种气体的重要性：正是因为电子气体在集成电路制造中的使用量大，应用范围广的特点。所以电子气体直接决定了芯片制造的良率 与可靠性等等。所以电子气体也被誉为集成电路制造中的“血液”。特种气体的主要生产工序包括气体合成、气体纯化、气体混配、气瓶处理、气体充装、气体分析检测等步骤，其中气体的纯化、混配等是气体公司的竞争力。

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