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氦质谱检漏仪的进展

经过近半个世纪的努力,检漏设备,今天的氦质谱检漏仪已告别了四十年代初期的情形。

集中体现在如下几个方面:

(1)便携式:近各国推出的小型便携式检漏仪不仅灵敏度高,而且便于携带,给野外作业和高空作业提供了比较大的方便。

(2)高压强下检漏:检漏口压强可高达数百帕左右,汽车空调检漏设备,对检测大系统和有大漏的工件很有益。

(3)自动化程度高:自动校准氦峰,自动调节零点,汽车空调检漏设备,量程自动转换,自动数据处理,可外接打印机。整机由微机控制,菜单的选择功能,一个按钮即可完成一次的全检漏过程。

(4)全无油的干式检漏:有些国家生产的检漏仪,可采用干式泵,达到无油蒸气的效果,为无油系统及芯片等半导体器件的检漏,提供了有利条件。

(5)检漏范围宽:现今生产的四极检漏仪,质量范围很宽,不仅可检测氦气,而且能检测其它气体。

分子泵排气系统取代扩散泵排气系统,不仅解决了油蒸气对质谱室的污染问题,而且对快速启动仪器和快速停机做出了很大贡献。为适应检漏口压强的变化和对灵敏度要求的不同,分子泵一般采用多级构造和几种不同的转速。

例如:瑞士、日本采用改变分子泵转速来达到此目的,汽车空调检漏设备,且提高检漏灵敏度。

另外,逆扩散检漏方式,实现了高压强下检漏,也为正压吸检漏提供了良好的条件。






真空箱氦检漏的特征和优点

1、高压氮气强度检测真空箱内进行,保护操作者安全

2、真空箱内氦气本底抑零,保证了检漏的准确性、。

3、检漏仪的自动校准功能以及自动校准程序,可随时校准检漏仪的灵敏度、准确度。

4、特殊设计的检测程序判断出具体的有漏工件,并通过灯光和液晶操作屏显示出来。

5、技术的密封接头,减少误判。

6、电气控制系统的连锁保护及声光报警功能,确保了系统的操作安全及可靠运行。

7、PLC控制,使系统运行清晰明了,实现了实时监测及控制。

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氦质谱检漏仪的检漏方式有那些

氦质谱检漏仪的检漏方式通常有两种,一种为常规检漏,另一种为逆扩散检漏。

逆扩散检漏是把被检件接在分子泵出气口一端,漏入的氦气由分子泵出气口逆着泵的排气方向进入安装在泵的进气口端的质谱管内而被检测。这一检漏方式是基于分子泵对不同质量的气体具有不同压缩比(气体在分子泵出气口压强与进气口压强之比)即利用不同气体的逆扩散程度不同程度而设计的。

氦质谱检漏仪逆扩散原理

逆扩散方式检漏允许被检件内压强较高,氦质谱检漏仪可达1000Pa(一般常规检漏仪为0.05Pa以下),适合检大型容器或有大漏的器件,也适合吸检漏。逆扩散方式还具有质谱管不易受污染,灯丝寿命长等优点。

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