石英挠性加速度计的结构主要由轭铁、磁钢、挠、力矩线圈和换能器等部分组成。? 轭铁由温度系数低、导磁性能好的软磁材料制成，加速度传感器，磁钢采用导磁性能良好的AL-Ni-Co8永磁材料。挠通常由石英玻璃制成，具有良好的温度性能，通过超声加工成型。力矩线圈和换能器将机械运动转换为电信号，再通过伺服放大器转换为电流信号，终产生反馈力或反馈力矩，与输入加速度引起的惯性力相平衡，直到恢复到平衡位置。?石英挠性加速度计的工作原理基于惯性质量在外界加速度作用下的相对位置变化。当有加速度输入时，由挠和力矩线圈组成的敏感质量块会发生偏移，导致差动电容极板距离变化，进而引起差动电容量的变化。伺服放大器检测到这一变化并输出相应的电流，送至位于磁场内部的线圈上，产生与输入加速度力矩相平衡的反馈力矩，三轴加速度传感器批发，使惯性质量回到平衡位置。通过测量这一电流信号，三轴加速度传感器，可以计算出输入加速度。

石英挠性加速度计具有结构简单、体积小、精度和灵敏度高、可靠性高等特点。然而，其在高温工作环境下的工作寿命和抗振动能力可能会受到影响。为了增强其可靠性和寿命，通常采用金丝键合的方式连接IC芯片到封装引脚，并采用多芯片模块厚膜混合集成电路工艺以适应高温工作环境。

石英加速度计的应用范围

石英加速度计的应用范围非常广泛，主要包括以下几个方面?：

?工业自动化?：石英加速度计在工业自动化中有着重要应用。由于其高精度和快速响应的特点，能够满足工业自动化领域对控制的需求?

航空航天?：航空航天领域对传感器的要求非常严苛，需要高精度、稳定性和耐高温等特点。石英加速度计凭借其的性能，在航空航天领域有广阔的市场前景，广泛应用于各种和航天器的加速度测量?。

??：石英加速度计在领域也有广泛应用，能够帮助提高设备的性能和安全性?

?汽车?：在汽车领域，石英加速度计可以帮助汽车制造商提高汽车的性能和安全性，同时提高车辆的燃油效率?

??：石英加速度计可以用于监测和诊断人体运动和生理过程，帮助医生更好地诊断和?

科学研究?：在科学研究领域，石英加速度计可以用于研究、地壳运动、宇宙学和微重力环境等领域?

?能源勘探?：在能源勘探领域，航天加速度传感器，石英加速度计被广泛应用于勘探和振动监测等领域，其高灵敏度和快速响应的特点使其成为这些领域中不可或缺的工具?

其他领域?：石英加速度计还应用于重力测量学、、自主水下导航、石油钻井等领域，具有高精度、低成本、体积小等优势?

石英挠性加速度计参数

?石英挠性加速度计的主要参数包括?：

?偏值?：≤3mg

?偏值温度系数?：g/℃ ≤ 30

?偏值月稳定性?：g ≤ 30

?标度因数?：mA/g 1.25±0.15， 1.5±0.15

?标度因数温度系数?：ppm/℃ ≤ 50

?标度因数月稳定性?：ppm ≤ 30

?二阶非线性?：g/g2 ≤ 10

?二阶非线性月稳定性?：g/g2 ≤ 10

?固有频率?：Hz ≤ 600

?量程?：±5， ±15， ±25， ±40， ±60g 可选

?振动?：20g (20~2000Hz)

?冲击?：500g， 5ms， 1/2sin

?工作温度?：℃ -40~80 (可选高温，钻井)

?重量?：g ≤ 80

?分辨率?：g ≤ 5×10???

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