干泵;国外干泵市场的不断增长，其主要驱动来自于半导体行业、化学工业、薄膜产业的迅速发展。在日本，半导体行业已全部用干式真空泵代替油封式机械泵，欧美半导体行业45%以上用干式真空泵代替了油封式机械泵，大大提高了产品的性能和质量。为了满足不同应用领域和不同工况的要求，国外有多级罗茨真空泵、多级爪式真空泵、螺杆式真空泵、涡旋式真空泵、往复式活塞真空泵以及涡轮式无油真空泵等。极限压力从10Pa～10-2Pa，抽速从20m3/h～500m3/h。

电机温度高某公司的300MW机组，每台机组配备2台机械真空泵，其中1台运行，1台备用。真空泵用于机组启动时抽真空，正常运行时用于抽出凝汽器中未凝结的气体。该泵配备电机160kW，转速590r/min，额定电流330A，电压380V，B级绝缘，正常运行时电流220～230A。每年夏季，电机温度都会超限，加装临时冷却风机，但收效不大。电机长期高温运行会造成绝缘老化，缩短其使用寿命。

真空泵组阀片可以有效地减少多余功耗的投入，增加和效率下降阀片，经常是下部紧贴在真空泵机组端面圆盘上，上部摆开一个角度，被扭曲成“S”形，经过长时间的使用会出现设备老化的情况。此时设备的工作状态出现问题，阀片中间应力过于集中，加快了其他部件的疲劳和破坏程度，减少了设备使用寿命，导致阀片从中间部分出现断裂情况，影响正常使用。