高真空系滑阀式真空泵（Rotary Piston Vacuum Pump）广泛应用于真空拉晶、真空镀膜、真空冶金、真空热处理、真空浸渍、真空干燥、真空蒸馏、真空练泥、航空航天模拟试验等新材料、新技术、新工艺的生产与研制中。滑阀真空泵可单独使用，也可作为罗茨真空泵、油增压泵、油扩散泵的前级泵的使用。当抽吸对黑色金属有腐蚀、对真空油起化学反应、含大量蒸汽、大量粉尘的气体时，需附加装置。优点：相比旋片式真空泵耐用性要高好几倍且抽气速率大，价格相对高一点。

真空泵组阀片的作用：阀片其实对于真空泵机组的运行起到了很大的作用，如果阀片受损就会严重影响机组的正常运转情况，所以这就需要对阀片做好定期检查，从而确保阀片能够长久保持良好的使用状态。真空泵组在运行过程中会出现机械故障，为了预防这些可能出现的故障，首先保证设备的密封效果，一般会在真空泵两端的柔性排气孔上安装一组阀片，阀片的作用是为了尽可能的缓解由于真空泵工作出现的气压不稳影响到内部压缩作业效果的情况。

扩散泵：以低压高速蒸汽流（油或等蒸汽）作为工作介质的喷射真空泵。气体分子扩散到蒸汽射流中，被送到出口。在射流中气体分子密度始终是很低的，这种泵适于在分子流状态下工作。可分为：① 自净化扩散泵：泵液中易挥发的杂质经专门的机械输送到出口而不回到锅炉中的一种油扩散泵② 分馏式扩散泵：这种泵具有分馏装置，使蒸汽压强较低的工作液蒸汽进入高真空工作的喷嘴，而蒸汽压强较高的工作液蒸汽进入低真空工作的喷嘴，它是一种多级油扩散泵。