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氦质谱检漏仪

(1)新的仪器对空气和残余气体的读数是零,仅对示踪气体有响应。(2)新的仪器本身也是一个抽速较高的真空系统。(3)仪表的指示能够反映出漏孔的大小, 漏量的大小。这三点要求实际上构成了研制新型检漏仪器的准则。在研制过程中, 对传统的检漏方法、光谱仪和皮喇尼规进行了考察。发现在实际运用中都存在着不少的缺点。当时,明尼苏达州州立大学的尼尔博士正在研制一种可以记录分子量和原子量大小的质谱仪。经过分析, 雅可比认为如果尼尔博士能够使仪器简化, 那么质谱仪将是一种好的选择性检漏装置。当时还论证了新型检漏装置的示踪气体必须满足三个要求(1)系统的残余气体的质潜中没有它的谱线。即便仪器处于大气环境,这种气体在仪器中也几乎不存在。(2)能够在试验状态下很容易地把它从系统中抽出,SF6真空箱检漏回收系统, 所用的示踪气体不会污染系统。(3)分子量低、粘度低、购置方便。显然,氦气是满足这三个要求的理想的气体。



氦质谱检漏仪的原理

氦质谱检漏仪一般由质谱管,真空系统和电子系统组成。其中质谱管包括离子源,质量分析器和离子检测器; 真空系统一般由分子泵、机械泵、电磁阀和真空计组成。离子源的作用是将原子电离成带电离子并聚焦成束,以一定能量注入质分析器,六氟化硫空箱检漏回收系统,

目前常用的电子轰击型离子源有尼尔型和震荡型两种形式。质分析器的作用起将各类离子按其质荷比的不同实现分离。

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氦气检漏的主要技术性能

1.真空箱尺寸根据电芯尺寸确定;

2.一般为三箱联动系统,检漏回收系统,生产节拍可满足单台6PPM—12PPM;

3.开门方式,可根据用户生产工艺要求来设计,一般为平开门式、滑台合箱式;

4.上下料采用机械手或机器人,正常生产时设备无需人工操作;

5.系统配置二维码扫描装置,可将每个电芯的检测数据对应存储;

6.具有清氦功能

7.具有氦气回收功能(此功能可选)

8.自动判断,真空检漏回收系统,并对应放置(即不合格品放于不合格线,合格品放于合格线)

9.可通过触摸屏设置不同等级密码,更改设备参数;

10.人机交互界面,触摸屏实时反映运行状态和测试数据;

11.故障统计功能

12.系统采用配置和标准化设计制作,确保运行稳定,。

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