净化工程缝隙密封截面应清理干净，密封嵌缝材料应选择不含刺激性挥发物、耐老化、抗腐蚀的中性材料，用于表面的应加抑菌剂；密封胶嵌固前，三类器械净化车间改造，应将待密封沟槽内的杂质、油污清除干净，并保持表面干燥；不同装饰材料相接处采用弹性材料密封时，黄光净化车间改造，应预留其适当宽度和深度的槽口或缝隙，山东净化工程有防霉要求的场合不应用玻璃胶、硅胶类密封胶，应用中性密封胶，并应在密封胶中加入抑菌剂，张家口净化车间改造，涉及半导体或有耐碱要求的净化车间不应用硅密封胶。
洁净隧道：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域100覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，激光切割净化车间改造，以避免机器维修时影响了工作及品质，ULSI制程大都采用此种型式。洁净隧道另有二项优点：A.弹性扩充容易； B.维修设备时可在维修区轻易执行。洁净管道：将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理，将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离，少量之送风即可得到良好之洁净度，可节省能源，不需人工的自动化生产线为更适宜使用。药品、食品业界及半导体业界均适用。并装局部无尘室：将无尘室等级10，000~100，000之乱流无尘室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上，以为生产之用；洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。
在10万级净化车间中，允许粉尘颗粒数为0.5百万或以上的颗粒数量不得超过350万颗，颗粒数大于或等于5微米的颗粒数不得超过20，000颗。0.5微米的概念是什么？发束的直径约为70-100微米，细菌的大小约为1微米至2微米。通过净化空气系统，大于或等于5微米的颗粒数量不应超过20，000。所以10万级净化车间的净化程度非常高。
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