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X射线是一种波长较短的电磁辐射,通常是指能量范围在0.1~100keV的光子。X射线与物质的相互作用主要有荧光、吸收和散射三种。X射线荧光是由物质中的组成元素产生的特征辐射。当高能电子束照射样品(靶材)时,入射高能电子被样品中的电子减速,这种带点粒子的负的加速度会产生宽带的连续X射线谱,简称为连续谱和韧致辐射。然后化学元素受到连续X射线谱的照射,内层电子被激发,驱逐一个内层电子形成空穴,原子处于不稳定状态。

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