真空设备检漏与维修

为什么要检漏

泄漏和密封相对应

很多情况下，我们需要密封住一定的空间，防止气体或液体在压力的作用下，流进或流出这个空间。如真空设备（真空镀膜机，液晶注入机，PVD，半导体外延等等），需要在真空条件下工作，要求在工作时，空气不能漏进工作腔体，否则生产不能进行，或者产生次品，浪费人力物力。另外装液体或气体的容器（液压气瓶，包膜式氦测漏设备，氧气瓶，空调冰箱中的雪种容器等等），要求在容器内外存在压差的情况下，不能有气体或液体漏出。如果有漏，氦测漏设备，后果严重，板式换热器氦测漏设备，一般会造成有效物资的浪费，真空箱式氦测漏设备，如有毒物资、腐蚀性气体漏出，甚至会酿成事故。

这些对密封性有要求的产品或设备，在投入使用前，就要行检漏，使用中也要定期进行检漏检查。

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氢气

氢气是性气体。在密闭容器中，当氢气与空气混合，氢的含量为4％～75％，即形成炸的混合气体。我国发电机运行规程规定：“一般要求发电机内氢气纯度保持在96％以上。低于此值时，应进行排污”

大容量氢冷发电机内要求保持高纯度的氧气，其主要目的是提高发电的效率，从经济方面考虑。因为氢气混入空气或纯度下降时，混合气体的密度随氢气纯度的下降而增大，使发电机的通风摩擦损耗也随着氢气纯度的下降而上升。据美国GE公司介绍，一台运行氢压为0.5MPa、容量为907MW的氢冷发电机，其氢气纯度从98％降到95％时，摩擦相和通风损耗大约增加32％，即相当于损失685kW。一般情况下，当机壳内的氢气压力不变时，氢气纯度每降低1％，其通风摩擦损耗约增加11％。

真空设备检漏

北京科仪真空技术有限公司（简称：科仪）出资成立，创建于2015年，注册资金500万。科仪产品主要有：薄膜制备设备，真空冶金设备，检漏设备，真空系统等非标真空产品；系列分子泵，离子泵，钛升华泵，深冷捕集泵等高真空获得设备；系列干式涡旋泵，干式爪泵，干式螺杆泵等无油真空获得设备；超高真空环境模拟设备等高新技术产品。

如何选择检漏方式，与检测对象的工作环境有很大关系，尽量做到与检测对象的工作状态一致。如检测对象工作时内部处于正压，则用正压模式，如检测对象工作时内部处于负压，则用真空模式。HLT260型氦质谱检漏仪具有嗅探和抽真空2种检漏模式，即正压模式和负压模式。详细检漏方法与测量工作过程如下：

在抽真空方式下，待检漏的器件通过测试端口与检漏仪相连，

待测器件被检漏仪内部的粗抽泵和分子泵抽到一定的真空（如果待测器件容积较大，则需额外的泵组一起协同作业以提高xiao率）。只需测量待测器件外部大气通过器壁的漏孔进入器件内部的氦的多少便可以判断漏率的大小。如果需要得到精que的漏率数值，则必须等待整个测量系统的真空达到稳态，

氦测漏设备-科仪创新技术有限公司-板式换热器氦测漏设备由北京科仪创新真空技术有限公司提供。北京科仪创新真空技术有限公司为客户提供“真空箱式氦检漏设备,LNG低温容器抽真空设备”等业务，公司拥有“真空泵,真空机组,真空非标设备,真空仪表,检漏仪”等品牌，专注于行业设备等行业。，在北京市昌平区南口镇科仪创新真空技术的名声不错。欢迎来电垂询，联系人：通总。