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低温泵抽气系统。低温泵抽气系统用低温泵作为主泵，并联或串联分子筛吸附泵，也可以用机械泵作为预抽真空泵，但若是油封机械泵就必须在机械泵的入口管路上设置油蒸气捕集器。低温泵抽气系统不产生碳氢化合物、金属膜的剥落碎片以及自身带来的气体污染，瓦里安涡轮分子泵价钱，是一种清洁的抽气手段。20K的低温泵可以得到10-8Pa的真空度，4.2K的低温泵可以得到10-10～10-12Pa的真空度。varian瓦里安分子泵维修费用
高通量 Agilent Turbo-V 1K-G 涡轮分子泵是一种专*真空泵系统，抽速可达 1000 L/s。Turbo-V 1K-G 专为工业应用而设计，尤其可用作薄膜沉积设备的涡轮分子泵。其叶片级数和整个泵结构均经过优化，能够在高温负载和极高*气流下工作。varian瓦里安分子泵维修费用
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氦质谱检漏仪分子泵故障及处理
1、仪器界面上TMP显示“0”即分子泵没有工作
有可能是前级压力过高(该分子泵的启动压力为200Pa)导致分子泵无法启动。检查导致压力过高的项目有：真空规管是否有问题，分子泵出口是否打开，机械泵油是否太脏或机械泵是否转动，系统是否有泄漏。也有可能是分子泵的叶片或转子被损害，可自行用工具拨动叶片，判断其能否转动。
分子泵加速指示灯不亮
电路板上的保险丝烧断，更换保险丝或检查是否有短路现象。
分子泵故障灯亮
检查电路板设置开关是否处于R位置，此时应该在N位置。检查风扇是否停止，如风扇正常，则可能为氦质谱检漏仪分子泵电源故障。
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广州潽拓光电科技有限公司——瓦里安涡轮分子泵价钱分子泵控制器报警
分子泵控制器是为分子泵提供动力的设备，一般具有转速控制、电流检测、温度检测、故障报警等功能
大多数泵制造商建议至少每3000小时更换一次机油。然而，对于要求更高的应用，每周或每月更换润滑油并不罕见，在*严重的情况下，甚至在每个作业周期后更换润滑油。*常见的油需要更换的指标表面是否呈黑色，有或没有颗粒的迹象;进气阀关闭时泵无法达到其*终真空状态;表面呈乳白色，表明系统中存在水/湿气。分子泵控制器报警
更换机油前，建议将泵运转几分钟，然后关闭。热的时候，油会流得更。如果排出来的油很脏，你可以考虑重复这个过程，直到它运行清除。在换油期间，建议定期排出少量油，并将其与清洁油的试管进行比较，以作为参考。然后可以评估颗粒的颜色、清晰度和数量。污染油的症状包括无法达到极限真空，噪音过大，*终导致泵损坏和故障。分子泵控制器报警
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