广州潽拓光电科技有限公司——爱德华涡轮泵

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爱德华edwards nEXT 300涡轮分子泵

     nEXT泵采用Edwards成熟的轴承技术，上轴承为性磁悬浮轴承，下轴承为油润滑陶瓷轴承，并改进转子设计，使其更加有效地实现分子拖曳行程，终提高抽速和压缩比，同时真正实现了用户自行维护。基本的分子泵系统通常由nEXT300D泵、TAG或TIC控制器、空冷或水冷附件以及合适的前级泵组成。

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XDS 泵的设计极具创新性，采用轴承屏蔽将真空环境与所有形式的润滑剂隔离开来，使之不仅完全干燥，爱德华涡轮泵E2M2保养维修，而且完全密封。该屏蔽还能保护轴承免受任何制程蒸汽的影响。

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