真空设备检漏与维修

为什么要检漏

泄漏和密封相对应

很多情况下，我们需要密封住一定的空间，防止气体或液体在压力的作用下，氦检漏系统，流进或流出这个空间。如真空设备（真空镀膜机，液晶注入机，PVD，高压柜氦检漏系统，半导体外延等等），需要在真空条件下工作，要求在工作时，空气不能漏进工作腔体，否则生产不能进行，或者产生次品，板式换热器氦检漏系统，浪费人力物力。另外装液体或气体的容器（液压气瓶，氧气瓶，空调冰箱中的雪种容器等等），要求在容器内外存在压差的情况下，不能有气体或液体漏出。如果有漏，后果严重，一般会造成有效物资的浪费，如有毒物资、腐蚀性气体漏出，甚至会酿成事故。

这些对密封性有要求的产品或设备，在投入使用前，就要行检漏，使用中也要定期进行检漏检查。

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真空设备检漏

一个真空系统，经相当长时间抽气之后，仍然达不到预期的真空度，可能的原因有:抽气情况不良，即抽气系统本身的问题。放气，即真空系统或容器内部存在气体或气源。漏气，即真空系统或被抽容器存在漏孔或缝隙。至于漏气是检漏技术所要解决的问题，即准确检出漏孔并加以修补。常规检漏内容包括:用适当的方法判断真空系统中漏气问题是否存在。确定漏气率。找出泄漏部位，以便修补堵漏。

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氢气检测仪特点

1． 氢气检测仪小巧、采用坚固的防爆外壳，具有防水型设计。2． 屏幕LCD液晶显示，可连续连续实时地显示气体浓度，包膜式氦检漏系统，需要背景灯时，可按下背景灯用键。3． 具有很强的声、光、振动等3种报警功能。4． 采用可充电锂电池供电，待机可长达约一个月左右。5． 报警可有低限、高限、STEL和TWA等多种报警功能，并可据客户需求调整报警值。6． 自动零点与满量程标定等功能。

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