真空设备检漏与维修

为什么要检漏

泄漏和密封相对应

很多情况下，我们需要密封住一定的空间，防止气体或液体在压力的作用下，流进或流出这个空间。如真空设备（真空镀膜机，液晶注入机，PVD，半导体外延等等），需要在真空条件下工作，要求在工作时，空气不能漏进工作腔体，环保柜氦测漏设备，否则生产不能进行，或者产生次品，浪费人力物力。另外装液体或气体的容器（液压气瓶，氧气瓶，真空箱式氦测漏设备，空调冰箱中的雪种容器等等），要求在容器内外存在压差的情况下，不能有气体或液体漏出。如果有漏，后果严重，一般会造成有效物资的浪费，如有毒物资、腐蚀性气体漏出，甚至会酿成事故。

这些对密封性有要求的产品或设备，在投入使用前，就要行检漏，使用中也要定期进行检漏检查。

以上就是为大家介绍的全部内容，希望对大家有所帮助。如果您想要了解更多 氢气检漏的知识，欢迎拨打图片上的热线联系我们。

氢气管道

在氢气管道方面，氢气管采用无缝钢管制成;管道和管件采用焊接连接，高压柜氦测漏设备，以减少可能的泄漏点。管道与设备的喷嘴、阀门等采用法兰或螺纹连接，并在连接中使用金属丝并定期检查粘接电阻，设备或管道端部是否接地良好;所述管道上设有空管、取样口和吹扫口，其位置满足管道中气体吹扫和更换的要求，系统上设有含氧量小于0.5%的氮气置换吹扫设施;氢气排气管应导至室外，排气口应高于屋顶高处1m以上。在排气口设置阻火器，防止外部火花进入系统造成事故，并采取防护措施，防止雨雪侵入、碎片堵塞、雷击。

氦质谱检漏仪：

1、氦气的质量轻，易于穿过漏孔，进入系统时流动和扩散快，因此响应快，检漏灵敏度高。

2、氦离子质荷比小，因此可以减小磁分析器偏转半径的尺寸和选用较弱一点的磁场。同时一阶氦离子的质荷比与一阶氢离子、二阶碳离子相差较大，利于离子分离，可以适当降低对分析器制造精度的要求，使质谱室中氦离子通过的各个缝隙，氦测漏设备，从而提高氦离子的传输率。

3、氦在空气中及残余气体中的含量少，在材料出气中氦气也很少，因此本底压力小，检漏时本底信号小。

真空箱式氦测漏设备-氦测漏设备-北京科仪创新技术公司(查看)由北京科仪创新真空技术有限公司提供。北京科仪创新真空技术有限公司拥有很好的服务与产品，不断地受到新老用户及业内人士的肯定和信任。我们公司是商盟认证会员，点击页面的商盟客服图标，可以直接与我们客服人员对话，愿我们今后的合作愉快！