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视频作者:广州潽拓光电科技有限公司





广州潽拓光电科技有限公司——varian真空泵设备保养分子泵控制器维护

分子泵维修厂家告诉您分子泵可以达到全速但是噪音大原因:前级泵问题,系统漏气,轴承问题,转速限定解决方式有分子泵运行超过3年,可能内部陶瓷球轴承已磨损,建议送修检测,如果放任不管,后续会磨损转子,varian真空泵设备保养,对泵体内部造成更严重的损伤,当分子泵出现油棉变黑,发黄,3-4年更换分子泵油棉。分子泵控制器维护



复合轴承分子泵内部陶瓷轴承采用油润滑方式,可以给轴承降温,减少轴承滚珠磨损并起到清洗分子泵轴承,避免污染物附着在轴承上面,有效延长分子泵的使用寿命,分子泵无法达到全速,真空度抽不下去请检查前级真空是否正常,如果是分子泵组,请先打开气镇阀抽一段时间后在观察下,无法解决问题建议立即送修检测。分子泵控制器维护



检查皮带张力时,在皮带的中心,即两轮之间的中点处施加压力。虽然拉力计是好的,但有经验的技术人员有时也会手动操作。如果皮带能向下推超过半英寸,你就得调整张力。分子泵控制器维护

为了代替传动带,直接驱动泵在电机和泵轴之间使用联轴器(又名联轴器或螺旋)。应检查联轴器是否过度磨损、松动或不对中。耦合不应显示裂纹或断裂。

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广州潽拓光电科技有限公司——varian真空泵设备保养varian TV 902分子泵维修

真空泵维修,问题2、抽不到真空泵的极限真空度:首先检查真空系统的气密性,看是否有轻微漏气。其次应打开气镇,让泵运行30分钟左右,来抽干非泵油污染引起的可压缩蒸汽,排除可压缩蒸汽对极限真空度的影响。varian TV 902分子泵维修



在排除以上两个因素后,其他原因主要有:泵油污染,需要换油;泵内油过滤器堵塞,引起压缩注油系统油路不畅,供油不足,导致泵体密封不严,这时需要清洗内部油过滤器;配油器阀门变形、磨损或损坏也可导致供油不足,这时应检查更换配油器阀门;varian TV 902分子泵维修



因此旋片泵机组广泛地用于在真空冶炼、电力电容器、变压器真空热处理、真空镀膜设备的预抽、电真空半导体等行业中抽除密闭容器中含氧不高的、无爆*性的、对金属无腐蚀性的、与泵油不会起化学反应的也不会含有颗粒尘埃的气体。

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广州潽拓光电科技有限公司——varian真空泵设备保养真空泵维修服务公司

1、 分子泵的安装方式:

a、 避免分子泵与所连接设备直接产生应力;

b、 分子泵的可维护性和方便保养;真空泵维修服务公司

c、 分子泵的排气口要朝下,防止冷凝物堵塞;

d、 分子泵的排气口不要正对前级泵的进气口;

e、 分子泵和前级泵之间根据工艺气体而安装合适的过滤器;

f、 在前级旋片泵的出口安装冷凝回油装置;真空泵维修服务公司

g、 分子泵运行时,一定要开启分子泵的冷却水,分子泵停止时关闭




电机、真空泵运异常。电机超负荷运转、真空泵在运转中异常杂音、噪声、转动困难或发生“卡死”现象。

  1.真空泵温太高,可参照1款(1)项处理。

  2.弹簧变形或断裂,使旋片受力不均匀而发出冲击声。解决方案:更换弹簧。

  3.装配不当,造成单面磨损。解决方案:重新装配。

  4.过滤网损坏,金属屑、玻璃屑等落入真空泵内,使运转发生障碍。解决方案:拆真空泵检查、清除碎屑,修复或更换磨损部件,并装好过滤网。

  5. 真空泵腔内污染严重,导致零件锈蚀。解决方案:拆真空泵请洗,去除锈斑,并换油。




真空泵由于某种原因引起电动机超负荷运转,甚至转不动,真空泵维修服务公司,通常习惯上把这种现象就叫“卡死”真空泵发生卡死的原因是:弹簧损坏,使旋片受力不匀;装配不当,使某局部受力;真空泵维修服务公司,由于进气口的滤网丢失或损坏,使外部脏物,金属屑、玻璃屑等落入泵腔内。此外,泵转子、旋片端面与端盖间的间隙过小,摩擦发热使旋片伸长或过热过紧的摩擦加之旋片硬度过大,与毛刺互相碾括,使端面产生深划痕,后烧结卡死。真空泵维修服务公司

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