pfeiffer真空泵返油处理-广东潽拓光电
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视频作者:广州潽拓光电科技有限公司





广州潽拓光电科技有限公司——pfeiffer真空泵分子泵真空机组

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高真空机组

①选好主泵,主泵有扩散泵、分子泵、溅射离子泵、钛泵、低温泵等。

②选好预抽泵、储气管(防震、缩短工作周期、防止真空室内瞬间大量放气、稳定扩散泵出口压力)



超高真空机组

主泵极限真空度要高、漏气率要低、耐200~450℃烘烤。

①扩散泵机组:降低返流、控制污染;

②分子泵机组:对氢压缩比小,残余气体主要是氢;

③溅射离子泵机组:通常与钛泵联合使用;

④低温泵机组:无污染。

广州潽拓光电科技有限公司——pfeiffer真空泵 分子泵真空机组



广州潽拓光电科技有限公司——pfeiffer真空泵油旋片真空泵

通常来说,一台分子泵控制器的显示屏闪烁可能是由于电源线路有问题,或者是由于组件出现故障造成的。建议在使用之前,先检查电源线路是否有问题,如果有问题及时进行维护;如果是组件出现故障,则需要检查组件的电气参数,根据维修应用指导手册进行更换或调整。



泵的排气口出现了冒烟的现象。一般来说,入口压力低于1300Pa,如果长期在高于此压力的状态下运转,大量气流会将油带到真空泵过滤器上,导致过滤器超载冒烟的情况,因此,应选择适当容量的真空泵,减少入口压力,防止烟雾。另外,过滤器使用时间过长,pfeiffer真空泵维修,过滤能力减弱,冒烟也是更换过滤器的信号。


随着复合分子泵的不断改进,其应用领域越来越广,在某些抽气系统上可以替代扩散泵,缩短了系统的抽气时间,并可获得无油污染的清洁真空环境。

尽量避免低温启动

油旋片真空泵一般要求环境温度在 5 摄氏度以上,温度过低时,润滑油的粘度下降甚至会结沙,此时通电启动会造成电机烧坏、联轴器损坏甚至转子扭断等严重的故障。

广州潽拓光电科技有限公司——pfeiffer真空泵 油旋片真空泵



广州潽拓光电科技有限公司——pfeiffer真空泵涡轮分子泵机组

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叶片的视角大,则排气管速率大,发动机压缩比小。叶片的视角小,则排气管速率小,发动机压缩比大。分子泵的排气管速率大部分不会受到汽体类型的危害,阳江pfeiffer真空泵,泵的限气体压强达到10-8Pa,可是对轻分子结构/分子,排气管速率会有一定的减少



分子泵的清理十分关键,假如前面泵没有问题,而真空泵在要求的時间内沒有做到要求的真空值,在清除漏汽的状况下,表明分子泵內部脏化了,就必须开展清理。分子泵的清理分成立即开展清理和拆装清理,前面一种适用內部不太脏,后面一种用以內部比较严重脏化。

常常选用立即清理,其方式 以下:

(1)关闭分子泵,开展排气管。

(2)从机器设备上当心卸掉分子泵,pfeiffer真空泵返油处理,留意不必遇到插口的边沿一部分,以防危害密闭性。

(3)卸掉冷却塔、润滑脂包等。

(4)将分子泵的高真空泵插口朝下,竖直地方人一个盛满没有水酒精的器皿中,液位高宽比略低前面真空泵插口。


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