热式气体质量流量控制器模拟式和数字式分别表示什么意思

目前市面上的热式气体质量流量控制器种类复杂繁多，有毛细管传热的、芯片式传热的流量控制器区别。本公司生产的热式气体质量流量控制器的传感器均采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量(无需温度和压力补偿），精度等级高，响应速度快，质量流量测量稳定等优点。在热式气体质量流量控制器选型的时候，我们经常会遇到销售人员询问客户是需要接收哪种信号？是模拟信号还是数字信号呢？那模拟信号和数字信号各自代表什么，它们之间又有哪些差别呢？在热式气体质量流量控制器选型时，应该怎么样来选择适合客户使用的产品呢？

有些公司生产的模拟式热式气体质量流量控制器可以选择0-5V的电压信号或是4-20mA的电流信号；0-5V的电压信号是行业内使用比较广泛和普遍的，稳定性好，精度高。4-20mA的电流信号传输距离远，可采点数量多。

还有一种数字式热式气体质量流量控制器可以选择RS232或是RS485 MODBUS协议的产品。RS232的数字信号产品常使用在实验室里面，一对一的方式电脑直接采集信号，适合实验室等研究院校；RS485 MODBUS协议的产品广泛应用于工厂，地址可以分配，适合工厂集中化管理与操作。数字式的热式气体质量流量控制器与模拟式的比较起来，响应的速度更快，特别是在测量中大量程的气体时精度更高。

不管是模拟式还是数字式的热式气体质量流量控制器，均可以配套二次数字显示仪表来进行操作，或是单独接PLC、工控机、电脑等来进行识别与操作。

流量控制器的应用中IST流量传感器的作用

IST-AG通过特殊的薄膜工艺，将高精度加热器，温度传感器或电堆封装在单一芯片内，构成流量测量的主要传感单元（Figure 2） ，数字流量计，通过流量传感器以响应绝大多数流量测量场景，数字流量计哪家好，薄膜技术的应用使得IST AG流量传感器具有很好的结构与性能优势。为此IST流量传感器在MFC中的应用工采网推荐瑞士IST 质量流量传感器 - FS5.0.1L.195的升级版IST-AG FS7流量传感器。

IST公司的FS5.0.1L.195是一个热质流量传感器，用于各种气流应用.热质流量传感器使用热传递原则，确定流体的流率.随着流体通过传感器，热质由传感器传递到媒体.此关序取决于流动速率.随着流动增加，热量被传递.通过了解媒体的温度，数字流量计哪里有，即可通过为保持恒定温度差的电压补偿量得出流速。

而IST-AG FS7流量传感器宽广的测量范围允许将传感器直接置于被测气路当中，免去复杂的旁路设计。传感器具有陶瓷基底与钝化玻璃层进行保护，具有较佳的长期稳定性。

因此在终端应用中，质量流量控制器的可靠性多半是许多半导体工艺的基础。MFC 的失准或制造缺陷会导致晶圆产量下降，甚至会损坏整个晶圆。采用IST流量传感器则可以为MFC产品带来如下优势:

1、足够宽的测量范围使得在许多场景中不必使用旁路，而进行直接测量，提高测量的准确性。

2、薄膜技术带来极高的响应灵敏度，在一般测量状态就可以瞬间响应压力浪涌。

3、小巧的体积与简单的安装方式，给气路结构优化创造更大的空间。

流量控制器分类

按照通讯方式的不一样，热式气体质量流量控制器主要分为模拟型0-5V或4-20mA和数字型RS485 modbus RTU协议。随着工业行业的节能减排、节约成本、保护环境这方面的要求越来越严格，气体质量流量控制器在各行业中都广泛使用，特别是在：钢铁冶金、环保行业、新能源行业、氢燃料电池等行业。

应用行业：真空镀膜设备、半导体工艺设备、化学与化工实验设备、食品科学与工程设备、能源与环境保护设备、各种分析仪器设备、表面处理、真空冶金及材料工艺、高校及科研院所实验室设备。

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