与净化车间维护结构相连的设备或其排风、排水管道在必须与维护结

与净化车间维护结构相连的设备或其排风、排水管道在必须与维护结构同时施工安装时，集成电路净化工程设计施工，与维护结构连接的接缝应采取密封措施，做到严密而清洁，净化工程设计施工，设备或其管道的送、回、排风口应暂时封闭，每台设备安装完毕后，半导体净化工程设计施工，无尘车间投入使用前，助力电池净化工程设计施工，均应将设备的送、回、排风口封闭；凡有机械联锁或电气联锁的设备，安装调试后应保证连锁处于正常状态；凡有风机的设备，安装完毕后风机应进行试运转，试运转时叶轮旋转方向必须正确，试运转时间按设备的技术文件要求确定，当无规定时，则不应少于2H；净化空调设备与无尘车间维护结构相连的接缝必须密封。

十万级无尘车间是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气

十万级无尘车间是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。无尘车间室内空气经处理后，所含微粒数少于一定数量要求，一般分十万级、万级、千级等，即室内每立方米空间的微粒数不大于十万、一万、一千个……。

净化工程缝隙密封截面应清理干净，密封嵌缝材料应选择不含刺激性挥发物、耐老化、抗腐蚀的中性材料，用于表面的应加抑菌剂；密封胶嵌固前，应将待密封沟槽内的杂质、油污清除干净，并保持表面干燥；不同装饰材料相接处采用弹性材料密封时，应预留其适当宽度和深度的槽口或缝隙，山东净化工程有防霉要求的场合不应用玻璃胶、硅胶类密封胶，应用中性密封胶，并应在密封胶中加入抑菌剂，涉及半导体或有耐碱要求的净化车间不应用硅密封胶。

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