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爱德华edwards nEXT 300涡轮分子泵
nEXT泵采用Edwards成熟的轴承技术,上轴承为性磁悬浮轴承,下轴承为油润滑陶瓷轴承,爱德华磁悬浮涡轮泵维修服务商,并改进转子设计,使其更加有效地实现分子拖曳行程,终提高抽速和压缩比,同时真正实现了用户自行维护。基本的分子泵系统通常由nEXT300D泵、TAG或TIC控制器、空冷或水冷附件以及合适的前级泵组成。
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STPA2203C Edwards磁悬浮涡轮分子泵是为半导体应用而设计的涡轮分子泵STPA2203C Edwards磁悬浮涡轮分子泵它使用的转子,可实现的性能,大的制程灵活性。全新的半机架控制器能够节省更多空间,且采用直流驱动,无需电池即可运行。STPA2203C 已经由半导体和磁介质行业的大型刻蚀、离子注入和沉积设备制造商投入使用,并得到了。
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Edwards STP 磁悬浮涡轮分子泵系列因其质量和可靠性在市场上享有很高的声誉,并且是许多具有挑战性的半导体应用的优选分子泵。对于实验室应用,STP 磁悬浮涡轮分子泵极为可靠,并且超长时间运行而无需维护
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产品特点:
1、低振动:磁悬浮意味着无摩擦,因此振动很低,此外这种特性能够保持不变,并且不会随零件磨损而化。
2、无油:使用磁力轴承,因此无需使用任何碳氢化合物润滑剂。
3、自动平衡系统:Edwards 5 轴磁悬浮泵能够动态调整磁场,从而防止转子失衡。
4、免维护:零摩擦意味着无磨损,因此在正常操作中无需进行任何日常维护。
5、 耐腐蚀性能:大多数 Edwards STP 磁悬浮涡轮分子泵型号均还提供镀镍涂层的内部过流部件和氮气吹扫设备的耐腐蚀型号,是化学实验室应用的理想选择
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