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膜盒真空计的另一种形式，是差分应变管式真空计。其参考室已不再是由部分玻璃组成的密封室，而是改由与应变管完全对称的密封应变管，管内压力维持在0.Pa 以下，作为参考压力。测量时由于压力差，使齿轮转动装置带动指针偏转。在传动装置中串有齿条，这样便可指示出微小的压力变化。这种真空计的量程一般有 10~2700100~13500100~10Pa 三种。

 瑞士INFICON的MPG400冷阴极和皮拉尼复合真空计有MPG400和MPG402个型号，测量范围从5x10-9毫巴至大气压(3.8 x10-9乇至大气压)。1torr到1000torr4种可选压力单位（乇，毫，毫巴，PA）数字信号处理D-SUB15针CE认证维护自由技术规范。将两种测量方式组合在一个具有对数模拟输出的小型单元内，大大地降低了安装，设置和集成的复杂性。

真空计(Vacuum Gauge)，c真空表，是测量真空度或气压的仪器。一般是利用不同气压下气体的某种物理效应的变化进压的测量。在科研和工业生产中广泛使用。

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皮拉尼电阻规也叫做热电阻真空计，它是利用电阻与温度之间关系的原理工作的。

由于不同气压下气体分子热传导能力不同，当给热丝加恒定的电流时，由于气压不同通过气体传导走的热量不同，热丝所保持的温度就不同，这导致热丝电阻大小不同，通过测量热丝电阻大小就可以推算气压大小。

如果配合电桥测量热丝电阻的变化，将有效提高测量的准确度。这种规的测量范围一般在0.1Pa至1000Pa。

由于不同气体在相同气压时导热性不同，所以这种规需要在不同的使用气体下标定

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　冷阴极电离真空计与热阴极电离真空计一样，是利用低压力下气体分子的电离电流与压力有关的特性，用放电电流做为真空度的测量，inficon检漏仪故障处理，由电流表CB(做为真空度指示仪表，一般用量程为o～100μA)指示出来。所不同的在于电离源。卤素检漏仪维修

卤素检漏仪是因为化学元素周期表里面有卤族元素周期系ⅦA族元素。包括氟（F）、氯（Cl）、*（Br）、碘（I）、砹（At），简称卤素，通常所说的氟利昂含氟，检漏仪又对氟起反应，所以叫卤素检漏仪，精度*好应该到5×10-7~08Pa·m3/s吧。有手持式和台式的。卤素检漏仪维修

氦质谱检漏仪是由离子源、分析器、收集放大器、冷阴极电离真空计、还有分子泵等组成，氦气分子小，还比较活跃，属于惰性气体，不腐蚀设备，检漏*率高，氦气质谱检漏仪反应灵敏，精度高，可检测到5×10-12Pa·m3/s。一般为台式。卤素检漏仪维修

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