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在真空表中受大气作用力引起应变元件的是弹性金属管，在膜盒真空计中是弹性薄膜。膜盒真空计的结构原理如图 4-2 所示。膜盒真空计中，有一个由应变膜和玻璃外壳构成的一个密封盒，盒内的气体压力已预先抽至0.1Pa 以下，作为参考压力，inficon英福康真空计保养要多少钱，指针与联动机构安放在玻壳内。当待测压力变化时，应变膜上感受到不同的力，这样就能读出不同的读数。

INFICON贝阿德-阿尔珀特皮拉尼（Pirani）BPG400型复合真空计将两种真空计的功能融合到一个紧凑的装置中，测量范围从 5×10-10 毫巴至大气压（3.8×10-10 托至大气压）

由于这种真空计的参考压力是0.1Pa，这就为测量较低的压力提供了可能。其测量范围为0~10Pa。根据其不同的型号，可细分为0~2500Pa0~2.5X10'Pa和0~105Pa。这种真空计不受大气压值的影响，一般精度为满刻度值的士1%，可广泛地用于激光器件的研制和生产单位。

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广州潽拓光电科技有限公司——inficon英福康真空计保养要多少钱 氦质谱检漏仪维修

分子泵在加速时功率较大，内部发热比较严重，频繁的启停（两次启动间隔<30分钟）会造成热量累积，使分子泵内部的温度过高，加剧轴承磨损。

氦质谱检漏仪是磁偏转型的质谱分析计。单级磁偏转型仪器灵敏度为lO-9～10-12Pam3/s，广泛地用于各种真空系统及零部件的检漏。双级串联磁偏转型仪器与单级磁偏转型仪器相比较，本底噪声显著减小.其灵敏度可达10-14～10-15Pam3/s，适用于超高真空系统、零部件及元器件的检漏。逆流氦质谱检漏仪改变了常规型仪器的结构布局，被检件置于检漏仪主抽泵的前级部位，因此具有可在高压力下检漏、不用液氮及质谱室污染小等特点.适用于大漏率、真空卫生较差的真空系统的检漏，其灵敏度可达10-12Pam3/s。氦质谱检漏仪

氦质谱检漏仪的检漏方式通常有两种，一种为常规检漏，另一种为逆扩散检漏。逆扩散原理如图所示。逆扩散检漏是把被检件接在分子泵出气口一端，漏入的氦气由分子泵出气口逆着泵的排气方向进入安装在泵的进气口端的质谱管内而被检测。氦质谱检漏仪

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氦质谱检漏方法 ( 以下简称氦检)以其高灵敏度和准确性而通常应用于整体防漏等级较高的压力容器上。氦检方法基本上可分为用氦气内部加压法和 设备内部抽真空外部施氦这两种，由于后者需将 设备完全抽成真空状态， 往往会增加测试用设备( 如高、低压真空泵、真空阀等)和设备工装 ( 如 外压加强圈)而使造价提高，所以该方法通常用于容积小而厚壁的设备;对于大多数压力容器而言，通常优先选用前一种方法。氦质谱检漏仪维修

*星的整体泄漏检测就是使用的充氦法，wei星以这种方式放置在大型环形模具室中，并且使用环形模具设备的真空系统将环形模具抽真空。首先，用辅助泵对环形模具进行粗加工和预抽，在检漏中，首先用机械泵将*星和充气管抽入真空，然后将氦气充入*星，根据*星工作的压力保持压力，*后打开氦质谱检漏仪的标准检漏校准仪，可以直接测量*星的泄漏率。氦质谱检漏仪维修

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