高温炉洗炉步骤： 1.使用保护气体驱除炉内空气： （1）在电炉预热之前，一般应将保护气体引入炉内; （2）保护气体可以通过上，下和后洗涤炉口。 排气口的针阀应打开大尺寸，以便尽快的排出炉内空气; （3）通常，将约10倍体积炉的保护气体引入炉内，使炉内的氧浓度降至约10ppm; （4）当炉内氧气浓度满足产品工艺要求时，可关闭排气口针阀，节约保护气体，关闭炉口，进气口用于通过流量计进入 ; （5）在使用电炉的过程中，须在炉内保持正压，以防止外部空气进入炉内。

 2.真空泵预真空方式： （1）将任何一个出风口连接到真空软管; （2）预先清空炉腔; （3）获得保护气体; （4）对炉腔进行预真空。

高温炉修复工作： 1.打开进气口，为CO2和其他保护气体充气。 当气氛炉的压力表显示0.02~0.04MPa时，停止充气。 2.通过调查流速并将出口温度控制在40°Cgh。 3.定期检查每个终端的联系是否良好。 4，根据工艺设定温度，电加热，保温。 5.当炉温升高时，箱式高温炉，要始终注意压力，间歇地打开放气阀，使炉内压力小于0.1MPa。 此时，可以排出诸如胆汁的杂质。 6.高温炉的光亮退火。 当温度升高时，打开排气阀，然后填充保护气体。 流量从小到大增加。 当气氛炉中的压力为正时，所有阀门都关闭，并且应通过该过程测试该过程。  ，由熟练工人掌握。

高温炉操作规程

1 准备工作a，检查电源线接触是否良好b，检查连接线是否正常c，检查冷却水是否正常d，检查密封性是否正常e， 准备所需工具：无尘纸、无水酒精、帆布手套、作业手套、口罩、耐高温手套、石墨推车、不锈钢托盘2 开炉a，打开主电源开关b， 向炉体充ya气至大气压，打开炉体前门，取下石墨盖板c， 将输送车开关打至 OUTd， 清炉 清理炉膛内壁、石墨件及保温材料上的污物3装料a，将石墨坩埚放置于输送车平台上，使用限位杆确定其位置，依次装入硅料。b、拔出限位杆，输送车开关打至 IN，依次操作 UP - FORWARD - BACK - DOWN，将坩埚装入炉膛内，并确定输送车会到初始位置。c、装入石墨盖板，拧紧石墨螺栓，关紧炉门4 抽气a、检查炉门是否关紧，真空系统是否密封b、置 DP 按钮于 DP ON，打开干式真空泵，打开真空计开关 P1G1，打开干式真空泵 。阀门，开始抽气测试泄漏率，c、当压力表指示为 50Pa是关闭真空泵阀门（非真空泵）露铝≤1Pa/min，打开ya气阀门充ya气（20L/min）。加热 先打开水环泵 再按 RUN，开始工艺加热。冷却a、加热结束后，按工艺条件进行冷却。

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