洁净隧道：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域100覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响了工作及品质，ULSI制程大都采用此种型式。洁净隧道另有二项优点：A.弹性扩充容易； B.维修设备时可在维修区轻易执行。洁净管道：将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理，将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离，少量之送风即可得到良好之洁净度，可节省能源，不需人工的自动化生产线为更适宜使用。药品、食品业界及半导体业界均适用。并装局部无尘室：将无尘室等级10，十万级新能源净化工程施工，000~100，000之乱流无尘室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上，以为生产之用；洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。

关于实验室无尘车间的分类：层流式——层流式空气气流运动成一均匀之直线形，空气由覆盖率100之过滤器进入室内，万级食品净化工程施工，并由高架地板或两侧隔墙板回风，净化工程施工，此型式适用于无尘室等级需定较高之环境使用，一般其无尘室等级为Class 1~100。其型式可分为二种：水平层流式：水平式空气自过滤器单方向吹出，工业厂房净化工程施工，由对边墙壁之回风系统回风的，尘埃随风向排出室外，一般在下流侧污染较严重。优点：构造简单，运转后短时间内即可变成稳定。垂直层流式：房间天花板完全以ULPA过滤器覆盖，空气由上往下吹，可得较高之洁净度，在制程中或工作人员所产生的尘埃可快速排出室外而不会影响其它工作区域。优点：管理容易，运转开始短时间内即可达稳定状态，不易为作业状态或作业人员所影响。复合式——复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。

空气风淋室安装时，根据设计的坐标位置或土建施工预留的位置进行就位；设备的地面应水平、平整，在设备的底部与地面接触的平面，应根据设计要求垫隔振层，使设备保持纵向垂直、横向水平；设备的机械、电气连锁装置应处于正常状态，风机与电加热、内外门及内门与外门的连锁等；设备与围护结构连接的接缝，应配合土建施工做好密封处理。

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