广州潽拓光电科技有限公司——阿尔卡特涡轮分子泵 真空泵技术升级

半导体产业链包括上游的半导体支撑产业，中游的半导体制造产业以及下游的半导体应用产业。半导体支撑产业包括半导体材料及设备，其中真空产品主要在半导体设备领域应用；中游半导体制造的he心是集成电路制造，包括IC设计、IC制造以及IC封测；下游的半导体应用领域众多，quan球半导体应用领域排名前san的行业是通信及智能手机、PC/平板、工业/yi疗。真空泵技术升级

干式真空泵主要在半导体行业、化学工业、薄膜产业得到应用于发展。国外的干泵市场正处于蒸蒸日上的阶段，如日本，半导体行业已全部用干式真空泵代替油封式机械泵，而欧美半导体行业45%以上用干式真空泵代替了油封式机械泵，大大提高了产品的性能和质量。真空泵技术升级

为了满足不同应用领域和不同工况的要求，国外有螺杆式真空泵、多级罗茨真空泵、多级爪式真空泵、往复式活塞真空泵、涡旋式真空泵以及涡轮式无油真空泵等。干泵极限压力从10Pa～10-2Pa，抽速从20m3/h～500m3/h。真空泵技术升级

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Adixen ATH1300M 同Alcatel ATH1300M为同一型号，阿尔卡特涡轮分子泵维护服务，为法国阿尔卡特真空部门得经典之作，转速设计为34000rpm，采用 Adixen ACT1300M分子泵电源

6.真空泵或电机卡死。

解决办法：确认电机已断电，断开风扇罩。用手盘动电机和真空泵。如果手盘不动，将电机从泵上拆下，分别检查真空泵和电机，如果真空泵卡死，请及时维修泵（要*业的真空泵维修人员维修检验）。维修进口真空泵

7、抽气管堵塞。Adixen ATH1300M进口真空泵

解决办法：卸掉抽气管，阿尔卡特涡轮分子泵保养要多少钱，单独运行泵，用手接触进出气口看百泵能否正常工作。如果此时泵不能抽气，那就是泵本身的问题了。

如果停用旋片式真空泵时，有油孔与泵腔相通或排气阀、轴封、泵盖平面、进气管、气镇阀等密封不严，由于液位差的存在和重力作用以及泵腔处于真空状态时油箱与泵腔的压差作用，真空泵油就会返入泵腔，油量足够大时，油还会返到进气管道中，造成下次起动时阻力大，旋片和转子受力大，排气阀受力大，起动困难，影响零部件寿命，降低旋片式真空泵的可靠性。因此，应设法防止停泵返油。其原理是，在停止旋片式真空泵时切断油路，湛江阿尔卡特涡轮分子泵，消除泵腔负压，降低液位差，减少返入油量。Adixen ATH1300M进口真空泵维修

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真空泵油的冷却性能

减少摩擦表面的温度是一个重要的润滑作用。摩擦表面运动必须克服摩擦和工作，阿尔卡特涡轮分子泵保养公司，电力消耗在克服所有的工作的摩擦热，结果将导致摩擦表面温度上升。摩擦热的大小与润滑的状态，*大的高粘度，粘度较低，*低的热边界之间的两个。可以看出，适当粘度的真空泵油不仅可以实现液体润滑，减少摩擦热的一代，但也可以及时摩擦热泵体外。进口真空泵维修

油污染或泵内有杂物

泵内存在铁屑、铜屑或其他颗粒杂物，会影响泵的正常工作，甚至导致泵的故障。此时应将泵内所有部件清洗干净并更换新油；对于已进入泵内的杂物，则需拆卸泵体并清洗。

分子泵的故障解决方式有分子泵运行时，转速不稳定，油棉变黑，发黄，转速限定解决方法有用电脑检测分子泵运行状态，可以判断出分子泵是否已磨损，如果不能判断出来的话可以更换。如果是油棉变黑了，则说明分子泵已经磨损。这种现象主要集中在转矩和轴承两个部件上。

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