真空系统设计要求

1、真空元件，如阀门、捕集器、除尘器和真空泵等相互联接时，应尽量作到抽气管路短，管道流导大，导管直径一般不小于泵口直径，镀膜机真空系统，这是系统设计的一条重要原则。但同时要考虑到安装和检修方便。有时为了防振和减少噪音，允许机械泵设置在靠近真空室的泵房内。

2、机械泵(包括罗茨泵)有振动，要防止振动波及整个系统，通常用软管减振。软管有金属和非金属的两种，不论采用那种软管要保证在大气压力作用下不被压瘪。

3、真空系统建成后，应便于测量和检漏。生产实际告诉我们，真空系统在工作过程中，CNC真空系统，经常容易出现漏气而影响生产。为了迅速找到漏孔，要进行分段检漏，因此每一个用阀门封闭的区间，至少要有一个测量点，以便测量和检漏。

明胜真空科技举例说明，用热偶真空计测出是2×10-2托((65格)(1托=133Pa)，用压缩式真空计测可能是5×10-4托，恰与泵标牌上的指标一致。当维修该泵时，若用热偶真空计测试出真空度低于2×10-2托，真空系统，例如只有40格以下((4×10-2托)，则可认为该泵真空度偏低了，应当加以适当的修理，调试。若该泵没有记下原始数据，则可以大致认为低于50格即应加以修理。自然，进口真空泵是否需修主要决定于生产实际的需要和可能条件。

德国贝克真空泵也像其他品牌的真空泵设备一样，会在使用当中出现一定的故障问题，但就其在应用中的具体表现来看，半导体制造真空系统，用户需要进行德国贝克真空泵维修的几率比较低，并不需要经常需要维修设备：

德国贝克真空泵故障率低：因为设计及生产非常优化的关系，德国贝克真空泵的故障率很高，在使用当中很少会出现故障问题，尤其是在安装使用完全符合要求并对其做好维护保养的情况下，设备更是不易发生故障。由此在设备自身的故障率很低的情况下，用户需要进行德国贝克真空泵维修的几率自然很低。

德国贝克真空泵结构设计优化：德国贝克真空泵有非常优化的结构设计，在应用的时候，无论是可能会出现的磨损问题，还是会出现的故障问题，都比较少，能够有效保护各个结构部分不因为正常的运行使用受损至发生故障。由此设备在使用的时候，就不易出现部件损坏这类问题，自然地用户需要进行德国贝克真空泵维修的几率就会很低。

简单来说，就是因为德国贝克真空泵不易在使用当中出现故障问题，