超纯氮气的主要制备工艺有哪些？

超纯氮气的主要制备工艺包括物理方法和化学方法。

物理方法主要有分离膜技术、吸附剂技术和制冷凝聚器技术，通过物理手段将氮气从气体混合物中分离出来。

化学方法则包括厌氧氧化法、吸附法和蒸馏法等，通过化学反应实现氮气的提纯。

这些工艺在实际应用中各有优缺点，需根据具体需求和条件选择合适的超纯氮气制备工艺。

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