采用热燃烧或催化燃烧法处理有机废气净化率高，但其投资运营成本极高。 由于废气排放量大量分散，难以集中收集。催化燃烧设备需要多套，占地面积大。 热燃烧24小时连续运转，适用于浓度高、稳定的排气箱，不适合断续的生产线箱。 催化燃烧的投资和运营费用相对热燃烧低，净化效率也相对低，但贵重金属金属催化剂非常容易由于有机废气中的残渣（如硫酸盐）等导致了无效，而拆换金属催化剂的花费很高；另外对有机废气进气口标准的操纵十分严苛，不然会导致催化反应发动机燃烧室阻塞而造成安全生产事故。

二室RTO工作原理

    有机废气通过引风机输入蓄热室1进行升温，吸收蓄热体中存储的热量，随后进入焚烧室进一步燃烧，升温至设定的温度（760℃），在这个过程中有机成分被分解为CO2和H2O。由于废气在蓄热室1内吸收了上一循环回收的热量，沸石转轮催化燃烧，从而减少了燃料消耗。

    处理过后的高温废气进入蓄热室2进行热交换，热量被蓄热体吸收，随后排放。而蓄热室2存储的热量将可用于下个循环对新输入的废气进行加热。该过程完成后系统自动切换进气和出气阀门改变废气流向，使有机废气经由蓄热室2进入，焚烧处理后由蓄热室1热交换后排放，如此交替切换持续运行。

喷淋塔是废气处理的一种装备，在工业废气处理能用到这样的净化设备。

UV光氧净化器的净化原理：

由臭氧发生器作用引起的气体物化学反应是在气相中进行的电离、离解、激发、原子。分子间的相互结合及加成反应。这个能量足以使大多数气态物中的化学键发生断裂，从而使其降解。UV光氧净化器设备利用高臭氧UV紫外线光束分解空气中的氧分子产生游离氧，因游离氧所携带正负电子不平衡所以需与氧分子结合，进而产生臭氧。污染介质在电离的作用下，产生活性自由基，活化后的污染物分子经过定向链化学反应后被脱除。当平均能量超过污染介质中化学键结合能时，分子链断裂，污染介质分解，并在臭氧发生器吸附场的作用下被收集。介质内分子浓度及共存的介质成分。对气态污染物的降解机理有足够的能量来产生自由基，引发一系列复杂的物理、化学反应。

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