特种气体分类：从应用领域划分，特种气体主要有电子气体、高纯气体和标准气体三种，广泛应用 于电子半导体、化工、环保和高装备制造等领域。特种气体分类：电子气体是指用于半 导体及其它电子产品生产的气体，目前，特种气体供应商，我国电子气体品种基本齐全，但数量和质量与 发达国家相比，尚有较大差距；特种气体的储存注意事项：为防止高压容器跌倒、滚落、损坏、阀门泄漏等造成安全隐患，存放场地需平坦，操作需谨慎、轻柔；并用链条、绳索等将其固定在靠墙等坚固位置。

特种气体的重要性：电子特种气体决定了集成电路的终良率和可靠性。由于电子气体用途多，用量大。所以电子气体也直接决定了 终芯片的良率和可靠性，特种气体在集成电路领域的应用：特种气体是半导体材料制造过程不可缺少的基硅性支撑材料，特种气体公司，处于半导体产业链的 上游，被称为半导体的“源”，工业特种气体，主要应用于薄膜、刻蚀、掺杂、气相沉积、扩散等工艺。特种气体在太阳能电池中的应用：非晶硅太阳能 电池在 LPCVD 沉积 TCO 工序用到 DEZn、B2H6；非晶/微晶硅沉积工序用到 SiH4、PH3/H2、 TMB/H2、CH4、NF3 等。

 灭菌特种气体由于它的活泼型，杀菌力强、杀菌谱广，对物品损害轻微等优点，六安特种气体，已成为目前主要的日常低温灭菌方法之一，特种气体是指在特定领域中应用的对纯度、品种、性质有特殊要求的气体，随着科学研究、自动化技术、精密检测（特别是微电子技术）的发展，特种气体成为工业气体市场规模增长新动力，广泛应用于半导体、LED、光纤光缆等新兴行业。特种气体的重要性：正是因为电子气体在集成电路制造中的使用量大，应用范围广的特点。所以电子气体直接决定了芯片制造的良率 与可靠性等等。所以电子气体也被誉为集成电路制造中的“血液”。

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